Китай Полупроводниковые компоненты Производители, Поставщики, Фабрика

Как профессиональный производитель, мы хотели бы предоставить вам полупроводниковые компоненты. Semicorex — ваш партнер по улучшению обработки полупроводников. Наши покрытия из карбида кремния плотны, устойчивы к высоким температурам и химическому воздействию и часто используются во всем цикле производства полупроводников, включая обработку полупроводниковых пластин и пластин, а также изготовление полупроводников.

Компоненты с покрытием SiC высокой чистоты имеют решающее значение для процессов в полупроводниках. Наше предложение варьируется от графитовых расходных материалов для горячих зон выращивания кристаллов (нагреватели, тигельные токоприемники, изоляция) до высокоточных графитовых компонентов для оборудования по обработке пластин, таких как графитовые токоприемники с покрытием из карбида кремния для эпитаксии или MOCVD.

Преимущества для полупроводниковых процессов

Этапы осаждения тонких пленок, такие как эпитаксия или MOCVD, или обработка пластин, такая как травление или ионная имплантация, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку. Semicorex поставляет графитовую конструкцию с покрытием из карбида кремния (SiC) высокой чистоты, обеспечивающую превосходную термостойкость и длительную химическую стойкость, а также температурную однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя.

Крышки камер →
Крышки камер, используемые при выращивании кристаллов и обработке пластин, должны выдерживать высокие температуры и суровую химическую очистку.

Конечный эффектор →
Конечный эффектор — это рука робота, которая перемещает полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителями.

Впускные кольца →
Впускное кольцо газа с SiC-покрытием, полученное с помощью оборудования MOCVD. Соединение для выращивания обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает большую стабильность в экстремальных условиях.

Кольцо фокусировки →
Semicorex поставляет кольцо фокусировки с покрытием из карбида кремния, которое действительно устойчиво к RTA, RTP или жесткой химической очистке.

Вафельный патрон →
Сверхплоские керамические вакуумные патроны для пластин Semicorex имеют карбид кремния высокой чистоты, используемый в процессе обработки пластин.