Большинство производителей SiC-подложек в настоящее время используют конструкцию тигля, включающую цилиндр из пористого графита для процесса горячего поля. Процесс включает размещение частиц SiC высокой чистоты между стенкой графитового тигля и цилиндром из пористого графита при одновременном углублении тигля и увеличении его диаметра. Это увеличивает площадь испарения сырья, одновременно увеличивая объем загрузки.
Новый процесс решает проблему дефектов кристаллов, возникающих из-за перекристаллизации верхней части сырья по мере роста поверхности исходного материала, что влияет на поток сублимированного материала. Кроме того, новый процесс снижает чувствительность распределения температуры по площади сырья к росту кристаллов, стабилизирует эффективность массообмена, уменьшает влияние углеродных включений на поздней стадии роста и дополнительно улучшает качество кристаллов SiC. Кроме того, в новом процессе используется метод фиксации кристаллического лотка без затравки, который не прилипает к затравочным кристаллам, тем самым устраняя тепловое расширение и облегчая снятие напряжений. Этот новый процесс оптимизирует тепловое поле и значительно повышает эффективность расширения.
Важно отметить, что качество и выход монокристаллов SiC, полученных этим новым процессом, сильно зависят от физических свойств тигельного графита и пористого графита. Однако предложение на рынке в настоящее время очень ограничено по сравнению с растущим спросом.
Основные характеристики пористого графита:
Подходящее распределение пор по размерам;
Достаточно высокая пористость;
Механический, отвечающий требованиям обработки и использования.
Semicorex предлагает высококачественную продукцию из пористого графита по индивидуальному заказу в соответствии с вашими требованиями.
Semicorex Porous Graphite Barrel — это материал высокой чистоты с высокооткрытой взаимосвязанной пористой структурой и высокой пористостью, предназначенный для ускорения роста кристаллов SiC в современных печах. Выбирайте Semicorex, чтобы получить инновационные решения в области полупроводниковых материалов, обеспечивающие превосходное качество, надежность и точность.*
Читать далееОтправить запросСтержень из пористого графита Semicorex — это материал высокой чистоты с высокооткрытой структурой взаимосвязанных пор и высокой пористостью, специально разработанный для улучшения процесса роста кристаллов SiC. Выбирайте Semicorex, чтобы получить передовые решения в области полупроводниковых материалов, в которых приоритет отдается точности, надежности и инновациям.*
Читать далееОтправить запросСверхтонкий графит Semicorex с высокой пористостью в основном используется в полупроводниковой промышленности, особенно в процессе выращивания монокристаллов, отличаясь превосходной поверхностной адгезией, превосходной термостойкостью, высокой пористостью и сверхтонкой толщиной с превосходной обрабатываемостью. Мы в Semicorex занимаемся производством и поставкой высокопроизводительного ультратонкого графита с высокой пористостью, который сочетает в себе качество и экономическую эффективность. **
Читать далееОтправить запросИзолятор для выращивания сапфировых кристаллов Semicorex играет незаменимую роль в работе печей для выращивания монокристаллов сапфира, выполняя критически важные функции на протяжении всего процесса выращивания кристаллов. Поддерживая стабильную температуру печи, эти компоненты значительно снижают потери энергии и повышают качество выращиваемых кристаллов. Мы в Semicorex занимаемся производством и поставкой высокоэффективных изоляторов для выращивания сапфировых кристаллов, которые сочетают качество с экономической эффективностью.
Читать далееОтправить запросКак профессиональный производитель, мы хотели бы предоставить вам пористый графитовый материал высокой чистоты. Semicorex предоставляет высококачественный пористый графитовый материал с индивидуальным обслуживанием. Мы предлагаем пористый графит с высокими характеристиками. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex предоставляет высококачественные тигли из пористого графита с индивидуальным обслуживанием. Наш материал из пористого графита имеет первоклассное качество и высокие характеристики. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос