Большинство производителей SiC-подложек в настоящее время используют конструкцию тигля, включающую цилиндр из пористого графита для процесса горячего поля. Процесс включает размещение частиц SiC высокой чистоты между стенкой графитового тигля и цилиндром из пористого графита при одновременном углублении тигля и увеличении его диаметра. Это увеличивает площадь испарения сырья, одновременно увеличивая объем загрузки.
Новый процесс решает проблему дефектов кристаллов, возникающих из-за рекристаллизации верхней части сырья по мере роста поверхности исходного материала, что влияет на поток сублимированного материала. Кроме того, новый процесс снижает чувствительность распределения температуры по площади сырья к росту кристаллов, стабилизирует эффективность массообмена, уменьшает влияние углеродных включений на поздней стадии роста и дополнительно улучшает качество кристаллов SiC. Кроме того, в новом процессе используется метод фиксации кристаллического лотка без затравки, который не прилипает к затравочным кристаллам, тем самым устраняя тепловое расширение и облегчая снятие напряжений. Этот новый процесс оптимизирует тепловое поле и значительно повышает эффективность расширения.
Важно отметить, что качество и выход монокристаллов SiC, полученных этим новым процессом, сильно зависят от физических свойств тигельного графита и пористого графита. Однако предложение на рынке в настоящее время очень ограничено по сравнению с растущим спросом.
Основные характеристики пористого графита:
Подходящее распределение пор по размерам;
Достаточно высокая пористость;
Механический, отвечающий требованиям обработки и использования.
Semicorex предлагает высококачественную продукцию из пористого графита по индивидуальному заказу в соответствии с вашими требованиями.
Как профессиональный производитель, мы хотели бы предоставить вам пористый графитовый материал высокой чистоты. Semicorex предоставляет высококачественный пористый графитовый материал с индивидуальным обслуживанием. Мы предлагаем пористый графит с высокими характеристиками. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex предоставляет высококачественные тигли из пористого графита с индивидуальным обслуживанием. Наш материал из пористого графита имеет первоклассное качество и высокие характеристики. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросПористый углерод Semicorex — это современный материал высокой чистоты для обработки полупроводников. Это важнейшее оборудование играет ключевую роль в процессе роста монокристалла SiC. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросПористые графитовые материалы Semicorex для выращивания монокристаллов SiC — это специализированный материал, используемый при обработке полупроводников. Эта важнейшая часть оборудования играет решающую роль в качестве монокристаллического SiC. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос