Продукты

Плунжеры Semicorex из глиноземной керамики представляют собой прецизионные цилиндрические подвижные компоненты, изготовленные из высококачественного глиноземного сырья. Являясь модернизированной альтернативой обычным металлическим плунжерам, керамические плунжеры Semicorex являются идеальным решением для работы в сложных рабочих условиях с высоким давлением, сильным абразивным износом и интенсивной химической коррозией.

Композитные направляющие цилиндры Semicorex C/C являются незаменимыми функциональными компонентами, специально используемыми для выращивания монокристаллического кремния высокой чистоты. Композитные направляющие цилиндры Semicorex C/C, изготовленные из высокоэффективных углерод-углеродных композитов с использованием специальных технологий, обеспечивают стабильную долговременную работу в сложных тепловых полях монокристаллического кремния, высоких температурах и агрессивных средах.

Лодочки для 6-дюймовых пластин Semicorex из SiC — это важнейшие инструменты для переноски керамических пластин, используемые для их хранения, транспортировки и обработки. Разработанные для размещения 6-дюймовых пластин, 6-дюймовые лодочки для пластин Semicorex из SiC идеально совместимы с суровыми условиями процесса диффузии полупроводников при высоких температурах, обеспечивая результаты обработки пластин без загрязнений и повреждений.

Концевые рабочие органы Semicorex из глиноземной керамики являются незаменимыми механическими конструкционными компонентами, изготовленными из высококачественной глиноземной керамики. Способные точно выполнять важные задачи по работе с пластинами, включая захват, транспортировку и выравнивание пластин, концевые эффекторы из глиноземной керамики Semicorex находят широкое применение в высокотехнологичном оборудовании для производства полупроводников и высокоточных системах автоматизации.

Нагреватели Semicorex с покрытием SiC — это графитовые нагревательные компоненты с CVD-покрытием SiC, предназначенные для тепловых полей полупроводников и обеспечивающие эффективное выделение тепла, отличную коррозионную стойкость и долгосрочную надежность в высокотемпературном технологическом оборудовании. Компания Semicorex поставляет изготовленные по индивидуальному заказу графитовые нагреватели с SiC-покрытием и комплексные решения для тепловых полей производителям полупроводников по всему миру, опираясь на передовую технологию нанесения CVD-покрытия, прецизионное проектирование и надежную доставку по всему миру.*

Керамические лопатки Semicorex SiC — это консольные держатели пластин из карбида кремния высокой чистоты, предназначенные для надежной обработки и транспортировки пластин в процессах высокотемпературной полупроводниковой печи, обеспечивающие превосходную термическую стабильность, низкий уровень загрязнения и длительный срок службы. Semicorex поставляет высокопроизводительные компоненты печей из SiC-керамики клиентам по всему миру, обеспечивая индивидуальные конструкции, точное производство и надежные поставки по всему миру для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности.*