Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) – это соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Пиковая температура плавления карбидов тантала составляет около 3880°C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают возможности производительности, используемые в эпитаксиальных процессах соединения полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материале покрытия Semicorex TaC
|
Проекты |
Параметры |
|
Плотность |
14,3 (г/см³) |
|
Коэффициент излучения |
0.3 |
|
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
|
Твердость (НК) |
2000 |
|
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
|
Термическая стабильность |
<2500℃ |
|
Изменение размеров графита |
-10~-20ум (справочное значение) |
|
Толщина покрытия |
Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
|
|
|
|
Вышеуказанные значения являются типичными. |
|
Кольца Semicorex из пористого карбида тантала — это высокоэффективные огнеупорные компоненты, специально разработанные для процесса физического переноса паров (PVT) при выращивании кристаллов карбида кремния (SiC). Они имеют монолитную спеченную структуру, обеспечивающую исключительную термическую стабильность и контролируемую газопроницаемость.*
Читать далееОтправить запросГрафитовые пластины-приемники Semicorex с TaC-покрытием представляют собой передовые компоненты, которые обычно применяются для стабильной поддержки и позиционирования полупроводниковых пластин во время современных эпитаксиальных процессов полупроводников. Используя самые современные производственные технологии и богатый производственный опыт, компания Semicorex стремится поставлять нашим уважаемым клиентам изготовленные по индивидуальному заказу графитовые пластинчатые токоприемники с покрытием TaC и лучшим на рынке качеством.
Читать далееОтправить запросДатчики Semicorex CVD с покрытием TaC — это высокопроизводительные графитовые датчики с плотным покрытием TaC, разработанные для обеспечения превосходной термической однородности и коррозионной стойкости для сложных процессов эпитаксиального выращивания SiC. Semicorex сочетает в себе передовую технологию нанесения покрытия CVD со строгим контролем качества, чтобы создать долговечные датчики с низким уровнем загрязнения, которым доверяют мировые производители SiC epi.*
Читать далееОтправить запросНаправляющие кольца Semicorex с покрытием из карбида тантала представляют собой высокопроизводительные кольцевые компоненты, используемые в оборудовании для выращивания полупроводниковых кристаллов. Они специально разработаны для создания подходящего температурного градиента и стабильного воздушного потока во время роста кристаллов. Выбрав направляющие кольца Semicorex с покрытием из карбида тантала, вы получите преимущества непревзойденной технологии нанесения покрытия и высокоэффективного и стабильного производства.
Читать далееОтправить запросГрафитовый тигель Semicorex TaC с покрытием изготовлен из графита с покрытием из карбида тантала методом CVD, который является наиболее подходящим материалом, применяемым в процессе производства полупроводников. Semicorex — компания, которая постоянно специализируется на керамических покрытиях CVD и предлагает лучшие решения в области материалов в полупроводниковой промышленности.*
Читать далееОтправить запросКомпоненты с покрытием Semicorex TaC при эпитаксиальном выращивании — это ценная обрабатываемая деталь, расположенная в воздухозаборнике в процессе эпитаксиального выращивания полупроводников. Semicorex — первоклассная компания, которая специализируется на технологии нанесения покрытий CVD TaC в Китае и экспортирует продукцию по всему миру.*
Читать далееОтправить запрос