Графитовое покрытие TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) представляет собой соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Точка плавления карбидов тантала достигает пика около 3880 ° C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают рабочие характеристики, используемые в эпитаксиальных процессах составных полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материалах покрытия Semicorex TaC
Проекты |
Параметры |
Плотность |
14,3 (г/см³) |
Коэффициент излучения |
0.3 |
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
Твердость (НК) |
2000 |
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
Термическая стабильность |
<2500°C |
Изменение размера графита |
-10~-20мкм (справочное значение) |
Толщина покрытия |
≥ 20 мкм типичное значение (35 мкм ± 10 мкм) |
|
|
Выше приведены типичные значения |
|
Пористый графит Semicorex TaC с покрытием представляет собой современный материал высокой чистоты для обработки полупроводников. Это важнейшее оборудование играет ключевую роль в процессе роста монокристалла SiC. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросКак профессиональный производитель, мы хотели бы предоставить вам кольца с покрытием TaC. Представляем кольцо с покрытием CVD Tac, современное решение для полупроводникового оборудования. Этот передовой продукт имеет усовершенствованное покрытие, полученное химическим осаждением из паровой фазы (CVD), которое обеспечивает исключительную долговечность и устойчивость к износу.
Читать далееОтправить запросПредставляем тигель с покрытием CVD Tac — идеальное решение для производителей полупроводникового оборудования и пользователей, которым требуется высочайший уровень качества и производительности. Наши тигли покрыты современным слоем CVD Tac (карбид тантала), который обеспечивает превосходную устойчивость к коррозии и износу, что делает их идеальными для использования в различных полупроводниковых приложениях.
Читать далееОтправить запрос