Блинный токоприемник, носитель пластин круглой формы, используемый при обработке полупроводников.
Эпитаксия является решающим этапом в обработке полупроводников, при котором эпитаксиальный слой выращивается на полупроводниковых пластинах, при котором пластины переносятся на графитовые токоприемники. Свойства графитовых токоприемников являются ключевым фактором, влияющим на качество эпи-подложек.
Графитовые токоприемники с покрытием из карбида кремния.
Semicorex поставляет токоприемники и компоненты для всех эпитаксионных реакторов, в том числебочковые рецепторыи блинные приемники. Мы используем графит высокой чистоты и покрытие CVD SiC.