Лодочки для вафель — это специализированные контейнеры, используемые для хранения и нагрева пластин карбида кремния (SiC) во время полупроводникового процесса, такого как обработка пластин.
Вафельные лодочки Semicorex изготовлены из керамики SiC, которая обладает превосходными механическими, термическими и химическими свойствами, такими как высокая прочность, низкое тепловое расширение и устойчивость к агрессивным средам.