В процессе обработки полупроводниковые пластины необходимо нагревать в специализированных печах. Реактор состоит из удлиненных цилиндрических трубок, в которых пластины располагаются на лодочках на заданном равном расстоянии. Чтобы выдержать условия обработки внутри камеры и свести к минимуму отходы пластин от технологического оборудования, лодочки для пластин и многие другие другие устройства, используемые при обработке пластин, изготавливаются из такого материала, как карбид кремния (SiC).
Лодочки, загруженные партией пластин, подлежащих обработке, располагаются на длинных консольных лопастях, с помощью которых их можно вставлять в трубчатые печи и реакторы и извлекать из них. Весла включают в себя сплющенную несущую секцию, на которой можно разместить одну или несколько лодок, и длинную ручку, расположенную на одном конце сплющенной несущей секции, с помощью которой можно держать весло.
Рекомендуется использовать консольную лопатку с рекристаллизованным карбидом кремния с тонким слоем CVD SiC, который отличается высокой чистотой и является лучшим выбором для компонентов при обработке полупроводников.
Semicorex может предоставить услуги по индивидуальному заказу в соответствии с чертежами и рабочей средой.