Покрытие SiC представляет собой тонкий слой на токоприемнике в процессе химического осаждения из паровой фазы (CVD). Карбид кремния обеспечивает ряд преимуществ по сравнению с кремнием, в том числе 10-кратное увеличение напряженности электрического поля пробоя, 3-кратное увеличение ширины запрещенной зоны, что обеспечивает материалу высокую термостойкость и химическую стойкость, отличную износостойкость, а также теплопроводность.
Semicorex предоставляет индивидуальное обслуживание, помогает внедрять инновации с помощью компонентов, которые служат дольше, сокращают время цикла и повышают производительность.
Покрытие SiC обладает рядом уникальных преимуществ.
Устойчивость к высоким температурам: токоприемник с покрытием CVD SiC может выдерживать высокие температуры до 1600°C без значительного термического разложения.
Химическая стойкость: покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную стойкость к широкому спектру химических веществ, включая кислоты, щелочи и органические растворители.
Износостойкость: покрытие SiC придает материалу превосходную износостойкость, что делает его пригодным для применения в условиях повышенного износа.
Теплопроводность: покрытие CVD SiC придает материалу высокую теплопроводность, что делает его пригодным для использования в высокотемпературных приложениях, требующих эффективной теплопередачи.
Высокая прочность и жесткость: токоприемник с покрытием из карбида кремния придает материалу высокую прочность и жесткость, что делает его пригодным для применений, требующих высокой механической прочности.
Покрытие SiC используется в различных областях.
Производство светодиодов: токоприемник с покрытием CVD SiC используется в производстве различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, ультрафиолетовые светодиоды и светодиоды глубокого ультрафиолетового излучения, благодаря его высокой теплопроводности и химической стойкости.
Мобильная связь: токоприемник, покрытый CVD SiC, является важной частью HEMT для завершения процесса эпитаксии GaN-на-SiC.
Обработка полупроводников: токоприемник с покрытием CVD SiC используется в полупроводниковой промышленности для различных применений, включая обработку пластин и эпитаксиальный рост.
Графитовые компоненты с покрытием SiC
Изготовленное из графита с покрытием из карбида кремния (SiC), покрытие наносится методом CVD на определенные сорта графита высокой плотности, поэтому оно может работать в высокотемпературной печи при температуре более 3000 ° C в инертной атмосфере, 2200 ° C в вакууме. .
Особые свойства и малая масса материала обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и непревзойденную точность управления.
Данные о материалах покрытия Semicorex SiC
Типичные свойства |
Единицы |
Ценности |
Состав |
|
Фаза FCC β |
Ориентация |
Доля (%) |
111 предпочтительных |
Объемная плотность |
г/см³ |
3.21 |
твердость |
твердость по Виккерсу |
2500 |
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Тепловое расширение 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
ГПа (изгиб 4pt, 1300°C) |
430 |
Размер зерна |
μ м |
2~10 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексурная сила |
МПа (4-балльная КТ) |
415 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Заключение Токоприемник, покрытый CVD SiC, представляет собой композитный материал, сочетающий в себе свойства токоприемника и карбида кремния. Этот материал обладает уникальными свойствами, в том числе высокой термостойкостью и химической стойкостью, отличной износостойкостью, высокой теплопроводностью, высокой прочностью и жесткостью. Эти свойства делают его привлекательным материалом для различных высокотемпературных применений, включая обработку полупроводников, химическую обработку, термообработку, производство солнечных элементов и производство светодиодов.
Откройте для себя вершину точности в производстве полупроводников с помощью нашего новейшего CVD SiC Pancake Susceptor. Этот дискообразный компонент, специально разработанный для полупроводникового оборудования, служит важнейшим элементом для поддержки тонких полупроводниковых пластин во время процессов высокотемпературного эпитаксиального осаждения. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросНагревательные элементы из карбида кремния Semicorex SiC Heater — это специализированный инструмент, используемый при обработке полупроводниковых пластин. Это важнейшее оборудование играет решающую роль в создании оптимальной тепловой среды, необходимой для производства высококачественных полупроводниковых приборов. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросГрафитовый токоприемник Semicorex CVD SiC с покрытием — это специализированный инструмент, используемый при транспортировке и обработке полупроводниковых пластин. Суцептор играет решающую роль в обеспечении роста тонких пленок, эпитаксиальных слоев и других покрытий на подложках с точным контролем температуры и свойств материала. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросНагревательные элементы Semicorex SiC Нагревательные стержни из карбида кремния накаливания представляют собой специализированный инструмент, используемый при транспортировке и обработке полупроводниковых пластин. Это важнейшее оборудование играет решающую роль в создании оптимальной тепловой среды, необходимой для производства высококачественных полупроводниковых приборов. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросБлинчатый токоприемник Semicorex для эпитаксиального процесса пластин представляет собой графитовую основу высокой чистоты с покрытием CVD SiC. Наш блинный токоприемник для эпитаксиального процесса пластин имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex предлагает высококачественные пластинчатые токоприемники из графита, покрытые CVD SiC. Мы являемся производителем и поставщиком графитовых материалов на протяжении многих лет. Наши токоприемники для блинов с графитовым покрытием CVD SiC имеют хорошее ценовое преимущество и подходят для большинства европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос