Покрытие SiC представляет собой тонкий слой на токоприемнике в процессе химического осаждения из паровой фазы (CVD). Карбид кремния обеспечивает ряд преимуществ по сравнению с кремнием, в том числе 10-кратное увеличение напряженности электрического поля пробоя, 3-кратное увеличение ширины запрещенной зоны, что обеспечивает материалу высокую термостойкость и химическую стойкость, отличную износостойкость, а также теплопроводность.
Semicorex предоставляет индивидуальное обслуживание, помогает внедрять инновации с помощью компонентов, которые служат дольше, сокращают время цикла и повышают производительность.
Покрытие SiC обладает рядом уникальных преимуществ.
Устойчивость к высоким температурам: токоприемник с покрытием CVD SiC может выдерживать высокие температуры до 1600°C без значительного термического разложения.
Химическая стойкость: покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную стойкость к широкому спектру химических веществ, включая кислоты, щелочи и органические растворители.
Износостойкость: покрытие SiC придает материалу превосходную износостойкость, что делает его пригодным для применения в условиях повышенного износа.
Теплопроводность: покрытие CVD SiC придает материалу высокую теплопроводность, что делает его пригодным для использования в высокотемпературных приложениях, требующих эффективной теплопередачи.
Высокая прочность и жесткость: токоприемник с покрытием из карбида кремния придает материалу высокую прочность и жесткость, что делает его пригодным для применений, требующих высокой механической прочности.
Покрытие SiC используется в различных областях.
Производство светодиодов: токоприемник с покрытием CVD SiC используется в производстве различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, ультрафиолетовые светодиоды и светодиоды глубокого ультрафиолетового излучения, благодаря его высокой теплопроводности и химической стойкости.
Мобильная связь: токоприемник, покрытый CVD SiC, является важной частью HEMT для завершения процесса эпитаксии GaN-на-SiC.
Обработка полупроводников: токоприемник с покрытием CVD SiC используется в полупроводниковой промышленности для различных применений, включая обработку пластин и эпитаксиальный рост.
Графитовые компоненты с покрытием SiC
Изготовленное из графита с покрытием из карбида кремния (SiC), покрытие наносится методом CVD на определенные сорта графита высокой плотности, поэтому оно может работать в высокотемпературной печи при температуре более 3000 ° C в инертной атмосфере, 2200 ° C в вакууме. .
Особые свойства и малая масса материала обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и непревзойденную точность управления.
Данные о материалах покрытия Semicorex SiC
Типичные свойства |
Единицы |
Ценности |
Состав |
|
Фаза FCC β |
Ориентация |
Доля (%) |
111 предпочтительных |
Объемная плотность |
г/см³ |
3.21 |
твердость |
твердость по Виккерсу |
2500 |
Теплоемкость |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Тепловое расширение 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
ГПа (изгиб 4pt, 1300°C) |
430 |
Размер зерна |
μ м |
2~10 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексурная сила |
МПа (4-балльная КТ) |
415 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Заключение Токоприемник, покрытый CVD SiC, представляет собой композитный материал, сочетающий в себе свойства токоприемника и карбида кремния. Этот материал обладает уникальными свойствами, в том числе высокой термостойкостью и химической стойкостью, отличной износостойкостью, высокой теплопроводностью, высокой прочностью и жесткостью. Эти свойства делают его привлекательным материалом для различных высокотемпературных применений, включая обработку полупроводников, химическую обработку, термообработку, производство солнечных элементов и производство светодиодов.
Графитовый токоприемник Semicorex CVD SiC с покрытием — это специализированный инструмент, используемый при транспортировке и обработке полупроводниковых пластин. Суцептор играет решающую роль в обеспечении роста тонких пленок, эпитаксиальных слоев и других покрытий на подложках с точным контролем температуры и свойств материала. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросНагревательные элементы Semicorex SiC Нагревательные стержни из карбида кремния накаливания представляют собой специализированный инструмент, используемый при транспортировке и обработке полупроводниковых пластин. Это важнейшее оборудование играет решающую роль в создании оптимальной тепловой среды, необходимой для производства высококачественных полупроводниковых приборов. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросБлинчатый токоприемник Semicorex для эпитаксиального процесса пластин представляет собой графитовую основу высокой чистоты с покрытием CVD SiC. Наш блинный токоприемник для эпитаксиального процесса пластин имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает большинство европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex предлагает высококачественные пластинчатые токоприемники из графита, покрытые CVD SiC. Мы являемся производителем и поставщиком графитовых материалов на протяжении многих лет. Наши токоприемники для блинов с графитовым покрытием CVD SiC имеют хорошее ценовое преимущество и подходят для большинства европейских и американских рынков. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex является ведущим независимым производителем графита с покрытием из карбида кремния, высокочистого графита с прецизионной обработкой, специализирующегося на графите с покрытием из карбида кремния, керамике из карбида кремния и MOCVP в области производства полупроводников. Наш нагреватель пластин SiC с покрытием имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex является крупным производителем и поставщиком графита с покрытием из карбида кремния в Китае. Мы поставляем нагреватели, опорные тигли, теплозащитные экраны и изоляционные компоненты для процессов выращивания монокристаллов и материалов. Мы ориентируемся на полупроводниковую промышленность, наш нагреватель кремниевых пластин имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.
Читать далееОтправить запрос