Китай Конечный эффектор Производители, Поставщики, Фабрика

Конечный эффектор — это рука робота, которая перемещает полупроводниковые пластины между позициями в оборудовании для обработки пластин и носителями. Концевой эффектор должен иметь точные размеры и термическую стабильность, а также иметь гладкую, устойчивую к истиранию поверхность, чтобы безопасно работать с пластинами, не повреждая устройства и не создавая загрязнения частицами.

Компоненты покрытия Semicorex из карбида кремния высокой чистоты (SiC) обеспечивают превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также длительную химическую стойкость.