SIC пальцы

Semicorex SIC Pingers - это специализированные детали, основные применения которых находятся в полупроводниковом обработке, в частности, в системах обработки пластин и поддержки. Их основная функция заключается в поддержке или удержании пластин на месте во время таких процессов, как эпитаксия, ионная имплантация или термическая обработка, при которых размерная стабильность или чистота, наряду с надежностью, имеет решающее значение. Кремниевый карбид сочетает в себе механическую прочность с превосходной термостойкостью и химической стойкостью, и эти характеристики необходимы в расширенных линиях полупроводникового изготовления, поэтому SIC пальцы являются незаменимыми в таких применениях.

Особенность продажиСиликоновый карбидВ качестве материала является способность выдерживать чрезвычайно высокие рабочие температуры, не теряя ее механической целостности. В полупроводниковых процессах, таких как эпитаксиальный рост, вафы испытывают повышенные температуры внезапно и в течение длительных периодов. The SiC Fingers once engaged will maintain their alignment and strength throughout the high-temperature cycles so the wafers remain in place, minimizing movement to avoid deformation or misalignment to maintain adequate process uniformity to achieve acceptable device yield. SIC Pingers обеспечивает гораздо более длительное обслуживание, чем типичные керамические или металлические опоры, в то же время гораздо более последовательны при высокотемпературных нагрузках.

Ключевым преимуществом SIC Fingers является их превосходная химическая стойкость. Все полупроводниковые применения включают реактивные газы, воздействие плазмы и воздействие коррозийных химических веществ. Корродируемый или разрушенный материал реагирует, выпустив частицы или загрязняющие вещества, которые могут ухудшить качество пластины.Силиконовый карбидИмеет химически инертную поверхность, которая не будет прикреплять или реагировать на агрессивные химические вещества, производя чистую среду процесса и значительно снижается риск загрязнения. Это добавляет к долговечности инструмента обработки пластин, непосредственно способствуя стабильным и повторяемым результатам процесса, что имеет решающее значение для получения полупроводниковых устройств с высоким выходом.

Точность является еще одним ключевым соображением в дизайне SIC Finger. Управление пластинами влечет за собой компоненты с чрезвычайно плотными допусками, микрометры могут вызывать смещение пластины, увеличить потенциал для разрушения пластины или вызвать несоответствия в процессах. Используя новейшие технологии обработки и полировки, SIC Fingers могут быть получены с самыми высокими допусками, поверхностной плоскостностью и гладкой отделкой. Это гарантирует стабильную, относительно свободную платформу для инерции для поддержки пластин с уменьшенным потенциалом для формирования частиц и повторной производительности приложений для обработки пластин в оборудовании автоматического полупроводникового обработки.

В дополнение к базовым материалам преимуществами SIC пальцами, они также могут быть специальными для удовлетворения каждого оборудования или требований к процессу. Различные размеры пластин, различные конструкции реактора и различная обработка операторов требуют конкретных изготовленных решений. SIC пальцы могут быть сделаны в любой геометрии или измерениях, а обработка поверхности может быть применена в соответствии с подходящими для конкретных применений.

SIC Fingers также уменьшает эксплуатационные расходы из -за их долговечного срока службы (снижение частоты замены) и их уменьшения в результате сбоя или загрязнения осаждения от теплового или химического напряжения. Как долговечность, так и надежность для производителей полупроводников, использование SIC Fingers приводит к увеличению времени безотказной работы, более низкой стоимости расходных материалов и общей повышению эффективности процесса.

Практически, SIC пальцы используются в основном в реакторах роста эпитаксии, поскольку они обеспечивают стабильное удержание пластин во время экстремальных тепловых и химических процессов. Они также используются в ионных имплантаторах или отжигах высокой температуры, где являются механическая стабильность, а также химическая инертность имеет решающее значение. В разных приложениях постоянная производительность также использует их в обработке пластин, критически важным для обеспечения единообразия процесса, целостности пластин и качества.

Semicorex SIC пальцы, являются сильными примерами преимуществКремниевый карбид материал Для высокой температуры, устойчивой к химическим, точным полупроводниковым компонентам. The material environment of SiC Fingers provide high temperature stability, exceptional chemical resistance, and the ability to manufacture to high precision standards. A robust and customizable component is critical to achieving stable production and improved yield and cost efficiency for semiconductor manufacturers. SIC Pingers по -прежнему остается расширенным и надежным решением для FAB, ориентированных на стабильность процесса и обеспечение качества.