Патроны для пластин Semicorex, изготовленные с покрытием из карбида кремния методом MOCVD, обладают превосходной стойкостью к быстрому охлаждению и нагреву, износостойкостью и сверхдлительным сроком службы. Это отличный материал для удержания и поддержки пластин для кремниевых пластин в различных процессах производства чипов в полупроводниковой промышленности.
● Жесткость
● Низкое тепловое расширение.
● Малый вес