Пористые глиноземные патроны

Полезные пористые глиноземные патроны специально построены для самых деликатных пластин. Их пористая конструкция обеспечивает гарантию последовательного распределения вакуума по поверхности патрона, что обеспечивает снижение локализованного напряжения и помогает предотвратить скопление и поломки края. Механическое зажим (твердое или иное) не так эффективно, как микропористая сеть, которая содержит даже деликатные пластины без чрезмерного ограничивающего механического напряжения, а также безопасно фиксировать пластину, поскольку микропористая структура предотвращает износ и обеспечивает мягкое удержание. Потребность в равномерной адсорбции по всей поверхности патрона особенно важна для пластин, которые более крупны и более тонкие, которые могут переносить гораздо меньше напряжения во время автоматической обработки и при выполнении высоких этапов обработки.

Оптимизированный для пористости 35-40%, патрон разрабатывает сеть взаимосвязанных пор, которые служат для эвакуации воздуха, обеспечивая достаточную механическую прочность для удержания пластины против сил процесса. Это означает, что сила удержания вакуума остается стабильной при перемещении пластин, даже в быстрой последовательности, одновременно выполняя сложную последовательность процессов. Адсорбция в микропористой сети обеспечивает большую стабильность, чем просто создавая различия в давлении в вакуумной системе.

Сам черный глинозем (al₂o₃) сам по себе является конечным материалом, потому что он твердый, устойчивый к износу и химически инертный. Он не будет разрушать какую -либо заметную поверхность и не будет затронут посредством повторных циклов пластины (расположение/ вакуумная адсорбция/ охлаждение). Черныйглиноземявляется размерным стабильным, поэтому не будет изменяться, несмотря на то, что изменения температуры происходят естественным образом во время процесса (нагрев и охлаждение) или в окружающей среде.

Химическая устойчивость является еще одним ключевым преимуществом черного глинозема. Чак может работать в среде агрессивной чистки, плазмы и травления, не ставя под угрозу ее структурную целостность. Его инертность предотвращает загрязнение поверхности пластины, обеспечивая высокую чистоту процесса и приверженность стандартам чистой комнаты.

Микропористая структура также предлагает поддерживающую поверхность, которая снимает концентрацию напряжения на тонких и хрупких пластинах. В тандеме с точной поверхностной плоскостностью и гладкой поверхностной отделкой пористые глиноземные патроны сведут к минимуму возникновения микросормических и царапин, которые могут поставить под угрозу целостность пластины.

Глиноземной керамикаимеет превосходную твердость, высокую механическую прочность, низкий тепловой коэффициент расширения и превосходную тепловую стабильность, что делает его практическим материалом для точного полупроводникового применения. Кроме того, его химическая инертность означает, что он может выдерживать кислоты, щелочи и плазму, в то время как свойства износостойкой устойчивости обеспечивают долговечность, эти преимущества делают глинозем из-за выбора для микропористых вакуумных патронов и обеспечивают как надежность, так и предсказуемость производительности.

В заключение, пористые глиноземные патроны предназначены для обеспечения равномерной и выживаемой обработки пластин. Его микропористая черная структура глинозема предлагает ровную вакуумную адсорбцию (однородность) при минимизации механического напряжения и снижении повреждения пластины. Как патрон, существенная и оптимальная пористость вместе с выдающимися термическими, механическими и химическими свойствами помогает оптимизировать безопасность, стоимость и надежность работы в условиях суровых изготовления. Превосходное сочетание надежной, равномерной и безопасной обработки, которую пористые глиноземные патроны могут предлагать производителям, просто редко и уникально.