Крышки камер используются для создания чистой, инертной и защищенной среды в камерах осаждения, поэтому они подвергаются воздействию плазмы и высокой температуры во время процессов осаждения или травления. Крышки камер Semicorex представляют собой прочные керамические компоненты, покрытые карбидом кремния методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), которые отлично подходят для работы в таких сложных условиях.