Китай Керамика Производители, Поставщики, Фабрика

Semicorex — ваш партнер по улучшению обработки полупроводников. Наши покрытия из карбида кремния плотны, устойчивы к высоким температурам и химическому воздействию и часто используются во всем цикле производства полупроводников, включая обработку полупроводниковых пластин и пластин, а также изготовление полупроводников.

Керамические компоненты SiC высокой чистоты имеют решающее значение для процессов в полупроводниках. Наше предложение варьируется от расходных материалов для оборудования для обработки пластин, такого как лодочка для пластин из карбида кремния, консольные лопатки, трубки и т. д. для эпитаксии или MOCVD.

Преимущества для полупроводниковых процессов

Этапы осаждения тонких пленок, такие как эпитаксия или MOCVD, или обработка пластин, такая как травление или ионная имплантация, должны выдерживать высокие температуры и жесткую химическую очистку. Semicorex поставляет конструкцию из карбида кремния (SiC) высокой чистоты, обеспечивающую превосходную термостойкость и длительную химическую стойкость, а также температурную однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя.

Крышки камер →
Крышки камер, используемые при выращивании кристаллов и обработке пластин, должны выдерживать высокие температуры и суровую химическую очистку.

Консольное весло →
Консольная лопасть является важнейшим компонентом, используемым в процессах производства полупроводников, особенно в диффузионных печах или печах LPCVD во время таких процессов, как диффузия и RTP.

Технологическая трубка →
Технологическая трубка — это важнейший компонент, специально разработанный для различных применений обработки полупроводников, таких как RTP и диффузия.

Вафельные кораблики →
Лодочка для вафель используется при обработке полупроводников. Она была тщательно разработана для обеспечения безопасности хрупких пластин на критических этапах производства.

Впускные кольца →
Газовпускное кольцо с SiC-покрытием, полученное с помощью оборудования MOCVD. Соединение для выращивания обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что обеспечивает большую стабильность в экстремальных условиях.

Кольцо фокусировки →
Semicorex поставляет кольцо фокусировки с покрытием из карбида кремния, которое действительно устойчиво к RTA, RTP или жесткой химической очистке.

Вафельный патрон →
Сверхплоские керамические вакуумные патроны для пластин Semicorex имеют карбид кремния высокой чистоты, используемый в процессе обработки пластин.

Semicorex также предлагает керамическую продукцию из оксида алюминия (Al2O3), нитрида кремния (Si3N4), нитрида алюминия (AIN), циркония (ZrO2), композитной керамики и т. д.