Керамика из карбида кремния (SiC) представляет собой современный керамический материал, содержащий кремний и углерод. Зерна карбида кремния могут быть соединены вместе путем спекания с образованием очень твердой керамики. Semicorex поставляет изготовленную на заказ керамику из карбида кремния по вашему требованию.
Приложения
При использовании керамики из карбида кремния свойства материала остаются постоянными вплоть до температур выше 1400°C. Высокий модуль Юнга > 400 ГПа обеспечивает превосходную размерную стабильность.
Типичным применением компонентов из карбида кремния является технология динамического уплотнения с использованием подшипников скольжения и механических уплотнений, например, в насосах и приводных системах.
Керамика из карбида кремния с улучшенными свойствами также идеально подходит для использования в полупроводниковой промышленности.
Вафельные Лодочки
Semicorex Wafer Boat изготовлен из спеченной керамики на основе карбида кремния, которая обладает хорошей коррозионной стойкостью и превосходной устойчивостью к высоким температурам и термическому удару. Усовершенствованная керамика обеспечивает превосходную термостойкость и стойкость к плазме, а также уменьшает количество частиц и загрязняющих веществ для носителей пластин большой емкости.
Реакционно-спеченный карбид кремния
По сравнению с другими процессами спекания изменение размера реакционного спекания во время процесса уплотнения невелико, и можно производить продукты с точными размерами. Однако присутствие большого количества карбида кремния в спеченном теле ухудшает высокотемпературные характеристики спеченной в результате реакции керамики карбида кремния.
Спеченный без давления карбид кремния
Спеченный без давления карбид кремния (SSiC) представляет собой особенно легкую и в то же время твердую высокоэффективную керамику. SSiC характеризуется высокой прочностью, которая остается почти постоянной даже при экстремальных температурах.
Рекристаллический карбид кремния
Рекристаллизованный карбид кремния (RSiC) представляет собой материалы нового поколения, образованные путем смешивания крупнозернистого порошка карбида кремния высокой чистоты и мелкодисперсного порошка высокоактивного карбида кремния, а после заливки вакуумным спеканием при 2450 ° C для рекристаллизации.
|
|
Реакция спеченного карбида кремния |
Спеченный карбид кремния без давления |
Рекристаллизованный карбид кремния |
Типичные свойства |
Единицы |
Ценности |
|
|
Объемная плотность |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Предел прочности при изгибе |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°С) |
Прочность на сжатие |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
твердость |
Кнуп |
2700 |
2800 |
/ |
Нарушение упорства |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Теплопроводность |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коэффициент температурного расширения |
10-6.1/°С |
5 |
4 |
4.7 |
Удельная теплоемкость |
Джоуль/г 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимальная температура воздуха |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модуль упругости |
ГПа |
360 |
410 |
240 |
Предел прочности при изгибе |
МПа (кфунт/кв. дюйм) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°С) |
Semicorex Wafer Boat Carrier является вершиной инноваций в области обработки полупроводников. Этот носитель, тщательно изготовленный из графита и усиленный новейшим покрытием из карбида кремния (SiC) методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), является примером точного машиностроения и передовых материаловедческих исследований. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex Baffle Wafer Boat — это высокотехнологичное оборудование, используемое при обработке полупроводников. Он был тщательно разработан для обеспечения безопасности деликатных вафель на критических этапах производства. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросРобот-манипулятор Semicorex Zirconia ZrO2 — жизненно важный компонент в обработке полупроводников, обеспечивающий плавный перенос и обработку пластин. Этот керамический рычаг, созданный для того, чтобы выдерживать строгие требования высокотемпературных, агрессивных и абразивных сред, может похвастаться непревзойденной долговечностью и надежностью. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросКерамическая насадка Semicorex Zirconia, созданная с тщательным вниманием к деталям, является воплощением совершенства в контроле скорости потока как газов, так и жидкостей с беспрецедентной однородностью и точностью. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросКерамический патрон Semicorex из нитрида алюминия представляет собой передовое решение для обработки полупроводниковых пластин, специально разработанное для надежного удержания пластин на месте на различных этапах производства. Это инновационное устройство, работающее как электростатический патрон (ESC), использует исключительные свойства керамики из нитрида алюминия, обеспечивая точную и надежную фиксацию пластины. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросДержатель пластин Semicorex из нитрида алюминия (AlN) является незаменимым компонентом в области обработки полупроводников, служащим основной платформой для надежного удержания деликатных пластин на различных этапах производства. Изготовленный из высококачественного материала нитрида алюминия, известного своей исключительной теплопроводностью, механической прочностью и электроизоляционными свойствами, этот держатель пластин обеспечивает оптимальные условия для точных и эффективных процессов производства полупроводников. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос