Китай Специальный графит Производители, Поставщики, Фабрика

Специальный графит - это своего рода искусственный графит, который обрабатывается. Это важный материал, который является незаменимым во всех аспектах полупроводникового и фотоэлектрического производственного процесса, включая рост кристаллов, ионную имплантацию, эпитаксию и т. Д.

1. Рост кристаллов кремния (sic)

Карбид кремния, как полупроводниковый материал третьего поколения, широко используется в новых энергетических транспортных средствах, 5G-связи и других областях. В 6-дюймовом и 8-дюймовом процессе роста кристаллов SIC изостатический графит в основном используется для производства следующих ключевых компонентов:

Graphite Crucible: это можно использовать для синтеза SIC порошкового сырья, а также помочь в росте кристаллов при высоких температурах. Его высокая чистота, высокая температурная сопротивление и сопротивление теплового шока обеспечивают стабильную среду роста кристаллов.

Графитный нагреватель: это обеспечивает равномерное распределение тепла, обеспечивая высококачественный рост кристаллов SIC.

Изоляционная трубка: это поддерживает однородность температуры в печи с ростом кристаллов и уменьшает потерю тепла.

2. Ионная имплантация

Ионная имплантация является ключевым процессом в производстве полупроводников. Изостатический графит в основном используется для производства следующих компонентов в ионных имплантаторах:

Графит -получение: это поглощает ионы примесей в ионном луче, обеспечивая чистоту ионов.

Кольцо с фокусировкой графита: оно фокусирует ионный луч, повышая точность и эффективность ионного имплантата. Графитовые подложки подложки: используются для поддержки кремниевых пластин и поддержания стабильности и последовательности во время ионной имплантации.

3. Эпитакси -процесс

Процесс эпитаксии является важным шагом в производстве полупроводниковых устройств. Изостатически нажатый графит в основном используется для изготовления следующих компонентов в печи эпитаксии:

Графитовые подносы и восприимчики: используются для поддержки кремниевых пластин, обеспечивая стабильную поддержку и равномерную теплопроводимость во время процесса эпитаксии.

4. Другие полупроводниковые производственные приложения

Изостатически нажатый графит также широко используется в следующих полупроводниковых производственных приложениях:

Процесс травления: используется для изготовления графитовых электродов и защитных компонентов для травлений. Его коррозионное сопротивление и высокая чистота обеспечивают стабильность и точность в процессе травления.

Химическое осаждение паров (CVD): используется для изготовления графитовых лоток и обогревателей в печи CVD. Его высокая теплопроводности и высокотемпературное сопротивление обеспечивают равномерное осаждение тонкой пленки.

Тестирование на упаковке: используется для производства тестовых приборов и лотков для носителей. Его высокая точность и низкая загрязнение обеспечивают точные результаты испытаний.

Преимущества графитовых частей

Высокая чистота:

Используя изостатически нажатый графитный материал с чрезвычайно низким содержанием примесей, он отвечает строгим требованиям чистоты материала в производстве полупроводников. Собственная печь Компании может очистить графит до 5 частей на 5 чай вечера.

Высокая точность:

Благодаря расширенному обработчивому оборудованию и зрелой технологии обработки, он гарантирует, что точность размеров продукта и допуски формы и позиции достигают уровня микрона.

Высокая производительность:

Продукт обладает превосходной высокой температурной сопротивлением, коррозионной стойкостью, радиационной сопротивлением, высокой теплопроводности и другими свойствами, соответствующие различным суровым условиям труда производства полупроводников.

Индивидуальная служба:

Индивидуальные услуги по проектированию и обработке продуктов могут быть предоставлены в соответствии с потребностями клиента для удовлетворения потребностей различных сценариев приложений.

Типы графитовых продуктов

(1) Изостатический графит
Изостатические графитовые продукты производятся с помощью холодной изостатической прессы. По сравнению с другими методами формирования, крестики, полученные этим процессом, имеют превосходную стабильность. Графитовые продукты, необходимые для монокристаллов SIC, имеют большие размеры, что приведет к неравномерной чистоте на поверхности и внутри графитовых продуктов, что не может соответствовать требованиям использования. Чтобы соответствовать требованиям глубокой очистки графитовых продуктов большого размера, необходимых для монокристаллов SIC, должен быть принят уникальный высокотемпературный процесс очистки термохимического пульса для достижения глубокой и равномерной очистки продуктов большого размера или специальных графитовых продуктов, чтобы чистота поверхности продукта и ядра могла соответствовать требованиям использования.

(2) Пористый графит
Пористый графит - это тип графита с высокой пористостью и низкой плотностью. В процессе роста кристаллов SIC пористый графит играет значительную роль в улучшении однородности массы, снижая скорость возникновения фазового изменения и улучшая форму кристаллов.
Использование пористого графита улучшает однородность температуры и температуры площади сырья, увеличивает разницу осевой температуры в тигеле, а также оказывает определенное влияние на ослабление рекристаллизации поверхности сырья; В камере роста пористый графит улучшает стабильность материала по всему процессу роста, увеличивает отношение C/SI площадью роста, помогает уменьшить вероятность изменения фазы и в то же время, пористый графит также играет роль в улучшении графического интерфейса.

(3) Чувство
Мягкий войлочный и твердый войлок играют роль важных теплоизоляционных материалов в росте кристаллов SIC и эпитаксиальных связях.

(4) Графитная фольга
Графитовая бумага-это функциональный материал, изготовленный из графита с высоким содержанием углерода за счет химической обработки и высокотемпературного проката. Он обладает высокой теплопроводностью, электрической проводимостью, гибкостью и коррозионной стойкостью.

(5) Композитные материалы
Углеродное тепловое поле является одним из основных расходных материалов в производстве фотоэлектрической монокристаллической печи.

Полуа -обработка производства

Semicorex создает графит с небольшими, индивидуальными производственными методами. Маленькая партийная продукция делает продукты более управляемыми. Весь процесс контролируется программируемыми логическими контроллерами (ПЛК), были записаны подробные данные процесса, что позволяет полной прослеживаемости жизненного цикла.

В течение всего процесса обжарки консистенция, достигнутая в удельном сопротивлении в разных местах, и поддерживается жесткий контроль температуры. Это обеспечивает однородность и надежность графитовых материалов.

Semicorex использует полностью изостатическую насущную технологию, которая отличается от других поставщиков; Это означает, что графит сам по себе является ультрауформированной и оказался особенно важным в эпитаксиальных процессах. Были проведены комплексные испытания на однородность материала, включая плотность, удельное сопротивление, твердость, прочность на изгиб и прочность в разных образцах.