Кольцо фокусировки или краевые кольца предназначены для улучшения однородности травления по краю или по периметру пластины.
Кольца фокусировки Semicorex имеют покрытие из карбида кремния, полученное методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), что обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также длительную химическую стойкость, которая позволяет выдерживать экстремальные условия в процессе плазменного травления или сухого травления. .