Кольцо фокусировки или краевые кольца предназначены для улучшения однородности травления по краю или по периметру пластины.
Кольца фокусировки Semicorex имеют покрытие из карбида кремния, полученное методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), что обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также длительную химическую стойкость, которая позволяет выдерживать экстремальные условия в процессе плазменного травления или сухого травления. .
Кольцо фокусировки Semicorex SiC представляет собой кольцевой компонент из карбида кремния высокой чистоты, предназначенный для оптимизации распределения плазмы и однородности процесса изготовления пластин при производстве полупроводников. Выбор Semicorex означает обеспечение стабильного качества, передовых технологий разработки материалов и надежной работы, которым доверяют ведущие заводы по производству полупроводников во всем мире.*
Читать далееОтправить запрос