Кольцо фокусировки или краевые кольца предназначены для улучшения однородности травления по краю или периметру пластины.
Кольца фокусировки Semicorex покрыты карбидом кремния с помощью химического осаждения из паровой фазы (CVD), что обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для одинаковой толщины и сопротивления эпитаксиального слоя, а также длительную химическую стойкость, которые созданы для работы в экстремальных условиях в процессе плазменного травления или сухого травления. .
Прочные фокусировочные кольца Semicorex для обработки полупроводников спроектированы так, чтобы выдерживать экстремальные условия камер плазменного травления, используемых при обработке полупроводников. Наши кольца фокусировки изготовлены из графита высокой чистоты с плотным износостойким покрытием из карбида кремния (SiC). Покрытие SiC обладает высокими антикоррозионными и термостойкими свойствами, а также отличной теплопроводностью. Мы наносим SiC тонкими слоями на графит, используя процесс химического осаждения из паровой фазы (CVD), чтобы увеличить срок службы наших колец фокусировки.
Читать далееОтправить запросКольцо фокусировки Semicorex для плазменной обработки специально разработано для удовлетворения высоких требований плазменного травления в полупроводниковой промышленности. Наши усовершенствованные компоненты с покрытием из карбида кремния высокой чистоты рассчитаны на работу в экстремальных условиях и подходят для использования в различных приложениях, включая слои карбида кремния и эпитаксиальные полупроводники.
Читать далееОтправить запросУсовершенствованные кольца фокусировки Semicorex из карбида кремния высокой чистоты созданы для работы в экстремальных условиях в камерах плазменного травления (или сухого травления). Мы ориентируемся на полупроводниковые отрасли, такие как слои карбида кремния и эпитаксиальные полупроводники. Наши продукты имеют хорошее ценовое преимущество и охватывают многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос