Карбидокремниевая керамика (SiC) — это современный керамический материал, содержащий кремний и углерод. Зерна карбида кремния можно скрепить вместе путем спекания с образованием очень твердой керамики. Semicorex поставляет керамику из карбида кремния на заказ по вашему требованию.
Приложения
Керамика из карбида кремния сохраняет свойства материала постоянными до температуры выше 1400°C. Высокий модуль Юнга > 400 ГПа обеспечивает превосходную стабильность размеров.
Типичным применением компонентов из карбида кремния является технология динамического уплотнения с использованием подшипников скольжения и механических уплотнений, например, в насосах и приводных системах.
Благодаря улучшенным свойствам карбидокремниевая керамика также идеально подходит для использования в полупроводниковой промышленности.
Вафельные кораблики →
Вафельные лодочки Semicorex изготовлены из спеченной керамики из карбида кремния, которая обладает хорошей устойчивостью к коррозии и отличной устойчивостью к высоким температурам и тепловому удару. Усовершенствованная керамика обеспечивает превосходную термостойкость и стойкость к плазме, одновременно уменьшая количество частиц и загрязнений для носителей пластин высокой емкости.
Реакционно-спеченный карбид кремния
По сравнению с другими процессами спекания, изменение размера реакционного спекания в процессе уплотнения невелико, и можно производить изделия точных размеров. Однако присутствие большого количества SiC в спеченном материале ухудшает высокотемпературные характеристики керамики SiC, полученной реакционным спеканием.
Карбид кремния, спеченный без давления
Карбид кремния, спеченный без давления (SSiC), представляет собой особенно легкую и в то же время твердую высокопроизводительную керамику. SSiC характеризуется высокой прочностью, которая остается практически постоянной даже при экстремальных температурах.
Рекристаллический карбид кремния
Рекристаллизованный карбид кремния (RSiC) представляет собой материалы нового поколения, полученные путем смешивания грубого порошка карбида кремния высокой чистоты и мелкого порошка карбида кремния высокой активности, а после цементации, вакуумного спекания при 2450 ° C для рекристаллизации.
Газоотводящие диски Semicorex с SiC-покрытием являются незаменимыми графитовыми компонентами, применяемыми в полупроводниковом эпитаксиальном оборудовании и специально разработаны для регулирования потока реакционного газа и обеспечения равномерного распределения газа внутри реакционной камеры. Выбирайте Semicorex, выбирайте оптимальные решения по отводу газа для получения высококачественных результатов эпитаксиальной обработки пластин.
Читать далееОтправить запросSemicorex SiC Wafer Carrier изготовлен из керамики на основе карбида кремния высокой чистоты с помощью технологии 3D-печати, что означает, что он позволяет получать высокоценные компоненты обработки в течение короткого времени. Компания Semicorex стремится поставлять качественную продукцию нашим клиентам по всему миру.*
Читать далееОтправить запросВерхние заземляющие кольца Semicorex CVD с SiC-покрытием являются важными компонентами кольцеобразной формы, разработанными специально для сложного оборудования плазменного травления. Являясь ведущим в отрасли поставщиком полупроводниковых компонентов, компания Semicorex специализируется на поставке высококачественных, долговечных и сверхчистых верхних заземляющих колец с CVD-покрытием SiC, чтобы помочь нашим уважаемым клиентам повысить эксплуатационную эффективность и общее качество продукции.
Читать далееОтправить запросУплотнения Semicorex SiC — это высокопроизводительные механические торцевые компоненты, разработанные для обеспечения превосходной износостойкости, термической стабильности и универсальной химической инертности в самых сложных условиях вращающегося оборудования. Semicorex — профессиональный поставщик керамических материалов SiC, который может поставлять высокоточную продукцию клиентам по всему миру.*
Читать далееОтправить запросSemicorex SiC Pedestal — это высокоточный многофункциональный аппаратный компонент, предназначенный для обеспечения термической стабильности и сложного распределения жидкости, необходимого для современных микроканальных реакционных систем. Компания Semicorex специализируется на разработке и поставке опор из карбида кремния высокой чистоты в соответствии с потребностями клиентов.*
Читать далееОтправить запросЗажимные патроны Semicorex из карбида кремния — это прецизионные высокопроизводительные вакуумно-адсорбционные приспособления, разработанные специально для закрепления и фиксации пластин в процессах фотолитографии и склеивания. Выбор Semicorex означает, что вы получите оптимальные адсорбционные решения, которые помогут повысить выход и эффективность обработки полупроводников.
Читать далееОтправить запрос