Носитель Semicorex RTP покрыт карбидом кремния с использованием процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD), который действительно стабилен для RTA, RTP или жесткой химической очистки. В основе полупроводникового процесса эпитаксиальные токоприемники сначала подвергаются воздействию окружающей среды осаждения, поэтому они обладают высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью. Носитель с покрытием SiC также обладает высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
▪ Графит высокой чистоты с покрытием из карбида кремния
Превосходная термостойкость и химическая стойкость
Высокая тепловая однородность
Отличная износостойкость
Графитовая несущая пластина RTP от Semicorex — идеальное решение для обработки полупроводниковых пластин, включая эпитаксиальный рост и обработку пластин. Наш продукт разработан для обеспечения превосходной термостойкости и термической однородности, гарантируя, что эпитаксиальные токоприемники подвергаются воздействию окружающей среды осаждения, с высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью.
Читать далееОтправить запросНоситель покрытия Semicorex RTP SiC обеспечивает превосходную термостойкость и термическую однородность, что делает его идеальным решением для обработки полупроводниковых пластин. Благодаря высококачественному графиту с покрытием из карбида кремния этот продукт выдерживает самые суровые условия эпитаксиального роста. Высокая теплопроводность и отличные свойства распределения тепла обеспечивают надежную работу при RTA, RTP или жесткой химической очистке.
Читать далееОтправить запросSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier спроектирован так, чтобы выдерживать самые жесткие условия среды осаждения. Благодаря высокой термостойкости и коррозионной стойкости этот продукт предназначен для обеспечения оптимальных характеристик эпитаксиального роста. Носитель с покрытием SiC обладает высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла, обеспечивая надежную работу при RTA, RTP или жесткой химической очистке.
Читать далееОтправить запросНесущая пластина Semicorex SiC Graphite RTP для MOCVD обеспечивает превосходную термостойкость и термическую однородность, что делает ее идеальным решением для обработки полупроводниковых пластин. Этот продукт с высококачественным графитовым покрытием SiC спроектирован так, чтобы выдерживать самые суровые условия осаждения для эпитаксиального роста. Высокая теплопроводность и отличные свойства распределения тепла обеспечивают надежную работу при RTA, RTP или жесткой химической очистке.
Читать далееОтправить запросНесущая пластина Semicorex с покрытием SiC RTP для эпитаксиального выращивания является идеальным решением для обработки полупроводниковых пластин. Благодаря высококачественным угольно-графитовым чувствительным элементам и кварцевым тиглям, обработанным методом MOCVD на поверхности графита, керамики и т. д., этот продукт идеально подходит для работы с пластинами и обработки методом эпитаксиального роста. Носитель с покрытием SiC обеспечивает высокую теплопроводность и отличные свойства распределения тепла, что делает его надежным выбором для RTA, RTP или жесткой химической очистки.
Читать далееОтправить запросSemicorex является крупным производителем и поставщиком графитового токоприемника с покрытием из карбида кремния в Китае. Графитовый токоприемник Semicorex разработан специально для оборудования для эпитаксии с высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью в Китае. Наш несущий элемент RTP RTA с покрытием из карбида кремния имеет хорошее ценовое преимущество и охватывает многие европейские и американские рынки. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером.
Читать далееОтправить запрос