Графитовая несущая пластина RTP компании Semicorex является идеальным решением для обработки полупроводниковых пластин, включая эпитаксиальный выращивание и обработку пластин. Наш продукт обеспечивает превосходную термостойкость и термическую однородность, гарантируя, что эпитаксионные токоприемники будут подвергаться воздействию окружающей среды осаждения, а также будут обладать высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью.
В нашем продукте используется графит высокой чистоты с покрытием SiC, который обеспечивает превосходные свойства распределения тепла, гарантируя, что носитель с покрытием SiC имеет гладкую поверхность, без трещин и расслоений. Наша графитовая несущая пластина RTP имеет тонкое покрытие из карбида кремния, что гарантирует гладкость поверхности и отсутствие каких-либо дефектов. Этот продукт обладает высокой стойкостью к агрессивной химической чистке и разработан таким образом, чтобы исключить появление трещин и расслоений.
Мы предлагаем ценовое преимущество, с которым не могут сравниться наши конкуренты, и стремимся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Используя нашу графитовую несущую пластину RTP, вы можете быть уверены в превосходной производительности, превосходной термостойкости и однородности температуры. Носитель с покрытием SiC выдерживает высокие температуры и обладает высокой устойчивостью к химической чистке, что обеспечивает его долгий срок службы. Наш продукт также прост в использовании, что делает его идеальным как для новых, так и для опытных пользователей.
В Semicorex мы стремимся предоставлять нашим клиентам высококачественные продукты и услуги. Мы используем только лучшие материалы, а наша продукция соответствует самым высоким стандартам качества и производительности. Наша графитовая несущая пластина RTP не является исключением. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о том, как мы можем помочь вам в обработке полупроводниковых пластин.
Параметры графитовой несущей пластины RTP
Основные характеристики покрытия CVD-SIC |
||
Свойства SiC-CVD |
||
Кристаллическая структура |
FCC β-фаза |
|
Плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Химическая чистота |
% |
99.99995 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Тепловое расширение (CTE) |
10-6К-1 |
4.5 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Характеристики графитовой несущей пластины RTP
Графит высокой чистоты с покрытием SiC
Превосходная термостойкость и термическая однородность
Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической чистке.
Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.