Дом > Продукты > Карбид кремния с покрытием > RTP-носитель > Графитовая несущая пластина RTP

Продукты

Графитовая несущая пластина RTP

Графитовая несущая пластина RTP

Графитовая несущая пластина RTP от Semicorex — идеальное решение для обработки полупроводниковых пластин, включая эпитаксиальный рост и обработку пластин. Наш продукт разработан для обеспечения превосходной термостойкости и термической однородности, гарантируя, что эпитаксиальные токоприемники подвергаются воздействию окружающей среды осаждения, с высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью.

Отправить запрос

Описание продукта

Наш продукт содержит графит высокой чистоты с покрытием из карбида кремния, который обеспечивает превосходные свойства распределения тепла, гарантируя, что носитель с покрытием из карбида кремния имеет гладкую поверхность, без трещин и расслаивания. Наша графитовая несущая пластина RTP имеет тонкое покрытие из карбида кремния, что обеспечивает гладкую поверхность и отсутствие каких-либо дефектов. Этот продукт обладает высокой устойчивостью к жесткой химической очистке и разработан для предотвращения появления трещин и расслоения.
Мы предлагаем ценовое преимущество, с которым не могут сравниться наши конкуренты, и мы стремимся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
С нашей графитовой несущей пластиной RTP вы можете быть уверены в отличной производительности, превосходной термостойкости и термической однородности. Носитель с покрытием SiC выдерживает высокие температуры и обладает высокой устойчивостью к химической очистке, гарантируя, что он прослужит долгие годы. Наш продукт также разработан, чтобы быть простым в использовании, что делает его идеальным как для новых, так и для опытных пользователей.
В Semicorex мы стремимся предоставлять нашим клиентам высококачественные продукты и услуги. Мы используем только лучшие материалы, а наша продукция отвечает самым высоким стандартам качества и производительности. Наша графитовая несущая пластина RTP не является исключением. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о том, как мы можем помочь вам с вашими потребностями в обработке полупроводниковых пластин.


Параметры графитовой несущей пластины RTP

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

SiC-ХОПФ свойства

Кристальная структура

Фаза FCC β

Плотность

г/см³

3.21

твердость

твердость по Виккерсу

2500

Размер зерна

μ м

2~10

Химическая чистота

%

99.99995

Теплоемкость

Дж·кг-1 ·К-1

640

Температура сублимации

2700

Фелексурная сила

МПа (4-балльная КТ)

415

Модуль Юнга

ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)

430

Тепловое расширение (CTE)

10-6К-1

4.5

Теплопроводность

(Вт/мК)

300


Особенности графитовой несущей пластины RTP

Графит высокой чистоты с покрытием SiC
Превосходная термостойкость и тепловая однородность
Мелкие кристаллы SiC с покрытием для получения гладкой поверхности
Высокая устойчивость к химической очистке
Материал разработан таким образом, чтобы не возникало трещин и расслаивания.





Горячие Теги: Графитовая несущая пластина RTP, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные

Связанная категория

Отправить запрос

Пожалуйста, не стесняйтесь дать свой запрос в форме ниже. Мы ответим вам в течение 24 часов.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept