Дом > Продукты > Карбид кремния с покрытием > РТП-перевозчик > Графитовая несущая пластина RTP
Продукты
Графитовая несущая пластина RTP

Графитовая несущая пластина RTP

Графитовая несущая пластина RTP компании Semicorex является идеальным решением для обработки полупроводниковых пластин, включая эпитаксиальный выращивание и обработку пластин. Наш продукт обеспечивает превосходную термостойкость и термическую однородность, гарантируя, что эпитаксионные токоприемники будут подвергаться воздействию окружающей среды осаждения, а также будут обладать высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью.

Отправить запрос

Описание продукта

В нашем продукте используется графит высокой чистоты с покрытием SiC, который обеспечивает превосходные свойства распределения тепла, гарантируя, что носитель с покрытием SiC имеет гладкую поверхность, без трещин и расслоений. Наша графитовая несущая пластина RTP имеет тонкое покрытие из карбида кремния, что гарантирует гладкость поверхности и отсутствие каких-либо дефектов. Этот продукт обладает высокой стойкостью к агрессивной химической чистке и разработан таким образом, чтобы исключить появление трещин и расслоений.
Мы предлагаем ценовое преимущество, с которым не могут сравниться наши конкуренты, и стремимся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Используя нашу графитовую несущую пластину RTP, вы можете быть уверены в превосходной производительности, превосходной термостойкости и однородности температуры. Носитель с покрытием SiC выдерживает высокие температуры и обладает высокой устойчивостью к химической чистке, что обеспечивает его долгий срок службы. Наш продукт также прост в использовании, что делает его идеальным как для новых, так и для опытных пользователей.
В Semicorex мы стремимся предоставлять нашим клиентам высококачественные продукты и услуги. Мы используем только лучшие материалы, а наша продукция соответствует самым высоким стандартам качества и производительности. Наша графитовая несущая пластина RTP не является исключением. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о том, как мы можем помочь вам в обработке полупроводниковых пластин.


Параметры графитовой несущей пластины RTP

Основные характеристики покрытия CVD-SIC

Свойства SiC-CVD

Кристаллическая структура

FCC β-фаза

Плотность

г/см³

3.21

Твердость

Твердость по Виккерсу

2500

Размер зерна

мкм

2~10

Химическая чистота

%

99.99995

Теплоемкость

Дж кг-1 К-1

640

Температура сублимации

2700

Фелексуральная сила

МПа (RT 4-точечный)

415

Модуль Юнга

Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)

430

Тепловое расширение (CTE)

10-6К-1

4.5

Теплопроводность

(Вт/мК)

300


Характеристики графитовой несущей пластины RTP

Графит высокой чистоты с покрытием SiC
Превосходная термостойкость и термическая однородность
Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической чистке.
Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.





Горячие Теги: Графитовая несущая пластина RTP, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Передовые, Прочные
Связанная категория
Отправить запрос
Пожалуйста, не стесняйтесь дать свой запрос в форме ниже. Мы ответим вам в течение 24 часов.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept