Носитель покрытия RTP SiC

Носитель покрытия Semicorex RTP SiC обеспечивает превосходную термостойкость и термическую однородность, что делает его идеальным решением для обработки полупроводниковых пластин. Благодаря высококачественному графиту с покрытием из карбида кремния этот продукт выдерживает самые суровые условия эпитаксиального роста. Высокая теплопроводность и отличные свойства распределения тепла обеспечивают надежную работу при RTA, RTP или жесткой химической очистке.

Отправить запрос

Описание продукта

Наш носитель покрытия RTP SiC спроектирован так, чтобы выдерживать самые жесткие условия среды осаждения. Обладая высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, эпитаксиальные суцепторы идеально подходят для эпитаксиального роста. Мелкое кристаллическое покрытие карбида кремния на подложке обеспечивает гладкую поверхность и высокую стойкость к химической очистке, а материал специально разработан для предотвращения трещин и расслаивания.
В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественных и экономичных носителей покрытия RTP SiC, мы уделяем первостепенное внимание удовлетворенности клиентов и предлагаем экономичные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашем носителе покрытия RTP SiC.

Параметры носителя покрытия RTP SiC

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Характеристики носителя покрытия RTP SiC

Графит высокой чистоты с покрытием SiC
Превосходная термостойкость и тепловая однородность
Мелкие кристаллы карбида кремния с покрытием для получения гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической очистке
Материал разработан таким образом, чтобы не возникало трещин и расслаивания.