RTP RTA Носитель с покрытием SiC

Semicorex поставляет RTP RTA SiC Coated Carrier, используемый для поддержки пластин, который действительно стабилен для RTA, RTP или жесткой химической очистки.  RTP RTA SiC Coated Carrier с графитовой конструкцией с покрытием из карбида кремния (SiC) высокой чистоты обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную термическую однородность для обеспечения постоянной толщины и стойкости эпи-слоя, а также длительную химическую стойкость. Тонкое кристаллическое покрытие SiC обеспечивает чистую и гладкую поверхность, что очень важно для удобства работы, поскольку чистые пластины контактируют с токоприемником во многих точках по всей своей площади.
В Semicorex мы уделяем особое внимание предоставлению высококачественных и экономически эффективных носителей с покрытием RTP RTA SiC, мы уделяем приоритетное внимание удовлетворению потребностей клиентов и предоставляем экономически эффективные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, предоставляющим высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры носителя с покрытием RTP RTA SiC

Характеристики носителя с покрытием RTP RTA SiC

- И графитовая подложка, и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.
- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.
- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность соединения, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.
- И графитовая подложка, и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.