RTP RTA Носитель с покрытием SiC

Semicorex поставляет RTP RTA SiC Coated Carrier, используемый для поддержки пластин, который действительно устойчив к RTA, RTP или жесткой химической очистке. RTP RTA SiC Coated Carrier с графитовым покрытием высокой чистоты из карбида кремния (SiC) обеспечивает превосходную термостойкость, равномерную тепловую однородность для постоянной толщины эпитаксиального слоя и стойкости, а также длительную химическую стойкость. Покрытие из мелких кристаллов карбида кремния обеспечивает чистую, гладкую поверхность, что очень важно для обращения, поскольку нетронутые пластины контактируют с токоприемником во многих точках по всей площади.
В Semicorex мы сосредоточены на предоставлении высококачественных и экономичных носителей RTP RTA SiC с покрытием, мы уделяем первостепенное внимание удовлетворенности клиентов и предлагаем экономичные решения. Мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером, поставляя высококачественную продукцию и исключительное обслуживание клиентов.

Параметры носителя с покрытием RTP RTA SiC

Характеристики носителя с покрытием RTP RTA SiC

- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния имеют хорошую плотность и могут играть хорошую защитную роль в условиях высоких температур и агрессивных рабочих сред.
- Токоприемник с покрытием из карбида кремния, используемый для выращивания монокристаллов, имеет очень высокую плоскостность поверхности.
- Уменьшите разницу в коэффициенте теплового расширения между графитовой подложкой и слоем карбида кремния, эффективно улучшите прочность сцепления, чтобы предотвратить растрескивание и расслоение.
- Как графитовая подложка, так и слой карбида кремния обладают высокой теплопроводностью и отличными свойствами распределения тепла.
- Высокая температура плавления, стойкость к высокотемпературному окислению, коррозионная стойкость.