Несущая пластина RTP с покрытием SiC для эпитаксиального роста

Несущая пластина RTP с покрытием Semicorex SiC для эпитаксиального выращивания является идеальным решением для обработки полупроводниковых пластин. Благодаря высококачественным углеграфитовым токоприемникам и кварцевым тиглям, обработанным методом MOCVD на поверхности графита, керамики и т. д., этот продукт идеально подходит для обработки пластин и обработки эпитаксиального выращивания. Носитель с покрытием SiC обеспечивает высокую теплопроводность и отличные свойства распределения тепла, что делает его надежным выбором для RTA, RTP или жесткой химической очистки.

Отправить запрос

Описание продукта

Наша несущая пластина RTP с покрытием SiC для эпитаксиального выращивания разработана, чтобы выдерживать самые жесткие условия среды осаждения. Благодаря высокой термостойкости и коррозионной стойкости эпитаксиальные токоприемники подвергаются идеальной среде осаждения для эпитаксиального роста. Мелкое кристаллическое покрытие SiC на носителе обеспечивает гладкую поверхность и высокую стойкость к химической чистке, а материал разработан таким образом, чтобы предотвратить появление трещин и расслоений.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашей несущей пластине RTP с покрытием SiC для эпитаксиального роста.

Параметры несущей пластины RTP с покрытием SiC для эпитаксиального роста

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
Свойства SiC-CVD
Кристаллическая структура	FCC β-фаза
Плотность	г/см³	3.21
Твердость	Твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	мкм	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж кг-1 К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексуральная сила	МПа (RT 4-точечный)	415
Модуль Юнга	Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Характеристики несущей пластины RTP с покрытием SiC для эпитаксиального роста

Графит высокой чистоты с покрытием SiC
Превосходная термостойкость и термическая однородность
Мелкое кристаллическое покрытие SiC для гладкой поверхности
Высокая стойкость к химической чистке.
Материал спроектирован таким образом, чтобы не возникало трещин и расслоений.

Горячие Теги: Несущая пластина RTP с покрытием SiC для эпитаксиального роста, Китай, производители, поставщики, фабрика, индивидуальные, массовые, усовершенствованные, долговечные

Тег продукта

Связанная категория