Печь роста кристаллов является основным оборудованием для роста кристаллов карбида кремния. Он похож на традиционную печь кристаллического кремниевого качества. Структура печи не очень сложна. Он в основном состоит из корпуса печи, системы отопления, механизма передачи катушки, системы сбора вакуума......
Читать далее