Al2O3 вакуумные патроны

Vacuum Chauum Semicorex Al₂o₃ - это точный микропористый керамический компонент, разработанный для применения в обработке, фиксации и обработке пластин в полупроводнике. Изготовленная из черного глинозем с контролируемой пористостью 35%-40%, это чрезвычайно стабильная, чистая и надежная среда для процессов вакуумной адсорбции. Чак объединяет керамическую обработку субстрата на функциональную поверхность, используя расширенные методы производства, чтобы обеспечить постоянную производительность всасывания для хрупкой пластины пользователя во время критических этапов процесса.

ЧерныйАроминация (al₂o₃); имеет уникальный баланс механической прочности, твердости и химической устойчивости по сравнению с металлами и полимерами. Микропористая структура оптимизирована для контролируемой пористости, чтобы обеспечить постоянное распределение вакуума по поверхности вакуумного патрона. Последовательное распределение вакуума на всей территории полной поверхности патронного патрона сводит к минимуму локализованные концентрации напряжений, ограничивая риск искажения пластин, сколов и поломки. Поскольку изготовление пластин продолжает масштабироваться в диаметре, а геометрия и устройства становятся более хрупкими, доходность процесса и повышение надежности обработки пластин становятся критическими требованиями.

Контролируемая пористость 35–40% представляет собой ключевую характеристику этого вакуумного патрона. Оптимизированная сеть пор может минимизировать турбулентность во время эвакуации воздуха из области пор и поддерживать силу удержания при сохранении механической прочности и долговечности. Напротив, механические зажимы используют пластины, которые вызывают локализованные точки напряжения и работают против механических свойств отдельной пластины. Следовательно, микропористая поверхность глинозема превосходна для удержания пластичных и неуместно во время механических подходов. Это делает идеального кандидата для высокотехнологичных полупроводниковых процессов, которые выигрывают от плоскостности и плавного удержания пластины, включая литографию, травление, осаждение и метрологию.

С тепловой точки зрения, черный алюминий обладает превосходной способностью поддерживать стабильность размеров при повышенной температуре. При низком коэффициенте теплового расширения вакуумный патрон способен оставаться точным даже во время циклов отопления и охлаждения, что является критическим аспектом из -за быстрых колебаний температуры, часто встречающихся в средах обработки пластин. Твердость и устойчивость к износу этой керамики также увеличивают долговечность патрона, снижая частоту технического обслуживания операторов оборудования и снижение общей стоимости владения.

Химическая инертность керамики глинозема является еще одним существенным свойством. В полупроводниковых тканях компоненты оборудования должны переносить агрессивные химические вещества, чистящие средства или плазменные среды без ухудшения. Черный глинозем обладает превосходными свойствами для сопротивления коррозии, окислению и/или загрязнению поверхности, и, таким образом, сохраняет структуру и структурную/фазовую стабильность в течение периодов возбужденного рабочего цикла. Это свойство также означает, что пластины не подвергаются загрязнению, которое защищает цепь от того, как работают эти устройства, а также доверяют протоколам чистой комнаты.

Вакуумные патроны не только демонстрируют отличную функциональную производительность, но и поверхностная отделка также плотно контролируется. Отделка создается с использованием высоких процессов обработки и полировки, которые дают равномерную плоскостность и гладкость, так что деликатные пластины можно удерживать без царапин или повреждения поверхности. Высокоэбришенная пористость материала дает подходящий баланс между всасыванием и защитой поверхности, что позволяет получить достаточную силу удержания на пластине, избегая любых повреждений тонких хрупких субстратов.

С оперативной точки зрения вакуумные патроны Al₂o₃ являются критическими компонентами в современном производстве полупроводников. Он облегчает автоматизацию, позволяя подбирать, размещать, выровнять и обрабатывать пластины, достоверно удовлетворяя требованиям процесса. Черный цвет алюминия также помогает и обеспечивает прагматические преимущества путем уменьшения отражения света во время оптических проверок и процессов измерения, особенно там, где используется высокое оптическое оборудование.

Сочетание передовой керамической технологии с хорошо продуманным дизайном дало в вакуумных патронах Al₂o₃ долгосрочное, высокоэффективное решение для проблем обработки пластин полупроводников. Вакуумные патроны Al₂o₃ повышают производительность за счет снижения потери пластины, сокращают время простоя из -за долговечности и повышают стабильность процесса, обеспечивая последовательную силу удержания вакуума.

Semicorex al₂o₃ вакуумные патроны из микропористого черногоглиноземэто больше, чем просто приспособление; Это критический фактор точного производства полупроводников. Благодаря оптимизированной пористости, исключительному свойствам материала и надежной производительности, он обеспечивает надежную обработку пластин в самых требовательных процессах изготовления. Для производителей, стремящихся достичь более высокой урожайности, повышения эффективности процесса и превосходной производительности оборудования, черный вакуумный патрон является незаменимым выбором.