Глиноземная керамическая рука

Керамический рычаг с алюмицией Semicorex - это инженерный компонент, который разработан для самых высоких спецификаций для полупроводниковых применений. Изготовленная из глиноземья высокой чистоты (al₂o₃), это роботизированная рука, которая оснащена уникальной комбинацией механической прочности, тепловой стабильности и химической стойкости. Рука предназначена не только для использования только для обработки пластин, но и для обеспечения поддержки процесса на местных участках изготовления. Это также должно гарантировать, что пластины передаются, позиционируются и обрабатываются без загрязнения или повреждения; Улучшение урожайности и надежность процесса.

Глиноземявляется одной из технической керамики, которая находит наиболее широкое использование в технической керамической области. Ароминат известен своей твердостью, износостойкостью и стабильностью в агрессивной среде. Для целей керамического руки управлять обработкой пластин без введения загрязнения, он может использовать свойства глинозема и обеспечить гораздо более высокий уровень сопротивления истиранию в результате его высокой чистоты и размера частиц; Следовательно, он не будет генерировать чрезмерные частицы во время его повторных движений, ни с пластинами, ни с полупроводниковыми подложками любого другого вида.  Плотность и низкая пористость, которые также имеют дальнейшее ограничение потенциала свободных частиц, и гарантируют, что они соответствуют ультрачистым требованиям тканей разработки полупроводникового развития без ущерба от чистоты, необходимой для обработки субмикронских устройств.

Глиноземобладает исключительной тепловой стабильностью в дополнение к ее механической прочности. Керамическая рука оксида оксида может выдержать экстремальные температуры процесса без деформации, растрескивания или потери силы. Это свойство делает его идеальным для включения в любой этап процесса, который включает в себя воздействие повышенных температур, таких как диффузия, окисление или шаги отжига. Установки будут иметь повышенную надежность для передачи в сложной среде процесса, поскольку они сохраняют механическую целостность при термоциклировании.

Химическая устойчивость является еще одним фундаментальным положительным положительностью керамической руки глинозема. В производстве полупроводников обработки часто выполняются на пластинах, которые включают сильные кислоты, щелочи и другие агрессивные химические вещества. В то время как металлические компоненты могут корродировать или выщелачивать примеси, глинозцы являются химически инертными, что защищает целостность как руки, так и вафей, которые он обрабатывает. Следовательно, инертность продлевает продолжительность жизни компонента, одновременно уменьшая возможность загрязнения во время критических этапов, таких как влажная чистка или химическое отложение паров.

Керамическая рука глинозема разработана с акцентом на совместимость и точность. Каждая рука создается для жестких допусков, обеспечивающих точное выравнивание пластины и перемещение и совместимость с автоматизированным оборудованием для обработки пластин и роботизированными системами. Гладкая, отполированная поверхностная отделка оснащена границей с низким содержанием трения с пластиной, которая снижает вероятность царапины пластины, что важно для целостности пластин/чистоты окружающей среды и снижения скорости дефектов. Эти инженерные допуски гарантируют, что рука свободно работает в быстро развивающейся среде пропускной способности и позволяет как на человеческом, так и полностью автоматизированном полупроводниковом рабочем процессе для руки.

Керамическая рука оксида оксида выходит за рамки только химических и механических характеристик и влияет на эксплуатационную эффективность и экономию средств на нескольких уровнях. Доказанный прочный характер керамики позволяет ARM превосходить композитные материалы, такие как пластмассы или алюминий с точки зрения долговечности дизайна при повторяющейся механической нагрузке, и, следовательно, уменьшает объем выполнения простоя и/или/или замены замены. Способность противостоять суровой среде включает в себя чистоту окружающей среды, а также производит меньше перерывов производства, что приводит к улучшению постоянного производства пластин, то есть доходности и, в конечном итоге, меньше лома, что приводит к более высокой рентабельности инвестиций (возврат инвестиций) для производителей полупроводников.

Варианты использованияГлиноземной керамикаARM для полупроводниковых процессов практически бесконечна - от движущихся пластин между влажными скамьями, диффузионными печи и камеров осаждения до осмотра и метрологических инструментов с использованием субстратов. Универсальность этого продукта не только позволяет использовать его для приложений для обработки пластин, но и дальнейшие ситуации автоматизации, когда требуется точность, чистота и надежность, также возможны. Полупроводниковая промышленность неумолимо движется к более мелким узлам и увеличению сложности в изготовлении устройств, и, поскольку отрасль продолжает требует лучшего обработки решений, которые являются надежными и не загрязняющими, керамическая роботизированная рука создает четкий путь вперед.