SIC ARM

Semicorex SIC Arm - это специализированное устройство, которое было разработано для обработки пластин с максимальной надежностью и точностью. Трансферные рычаги пластины, как и AR-сигнал SIC, появляются в современном полупроводниковом оборудовании, таких как эпитаксиальные реакторы, ионные системы имплантации, термическая обработка и т. Д. Построено с использованием высокой чистотыСиликоновый карбидв сочетании с свойствами сырья 

Исключительная тепловая и химическая стабильность, а также превосходное управление обработкой, сделайте ARM ARM доверенным решением для будущего производства полупроводников.

SIC ARM обладает своей исключительной производительностью в экстремальных тепловых средах. В эпитаксиальном росте, а также в других высокотемпературных процессах компоненты обработки пластин могут быть подвергнуты устойчивому тепло, которое легко ухудшает характеристики обычного материала. Кремниевый карбид сохраняет как прочность, так и размерную точность (конечные допуски измерения) при высоких температурах, которые гарантируют, что пластины могут оставаться точно сидными во время переноса или обработки и практически устраняют смещение, варпад или загрязнение. Керамика с исключительной производительностью продукта SIC; Как и рука SIC не окисляется, искажается как металл и не имеет характеристик производительности сбоя, таких как керамика, которые являются стрессовыми трещинами.

Химическая устойчивость является еще одним определяющим свойством руки SIC. В полупроводниковых средах распространены коррозионные газы, реактивные химические вещества и воздействие плазмы. Руководство по обработке, которая ухудшается в таких условиях, не только рискует механическим сбоем, но и загрязнением пластин.Силиконовый карбидОбеспечивает химически инертную поверхность, которая выдерживает эти агрессивные условия. Результатом является очень надежный компонент, который поддерживает целостность и чистоту поверхности, защищая пластины от примесей, которые могут поставить под угрозу производительность устройства. Эта долговечность значительно снижает время простоя оборудования, снижает частоту замены и повышает согласованность процесса.

Помимо устойчивости к материальной устойчивости, SIC Arm также соответствует высокой степени точности обработки. Управление пластинами требует точности для микрометра; Допуски, которые даже слегка не выходят из спецификации, могут вызвать изменения в геометрии или поверхностной отделке, что может привести к более высоким рискам в разрыве пластин или смещении пластины. Используя современные технологии производства, SIC -руки производятся с правильными допусками, плоскостностью и гладкими поверхностями. Быть высоким применением идеально подходит для обеспечения последовательного позиционирования пластин и повторяемой производительности во время тысяч циклов обработки, что идеально подходит для производства полупроводников с высоким объемом, которая имеет требовательные спецификации.

Универсальность является еще одним преимуществом SIC Arms. Различные полупроводниковые инструменты и процессы требуют оружия различных геометрий, размеров и конструкций. Поскольку SIC Руки могут быть изменены, чтобы включить эти конкретные характеристики проектирования, они могут легко вписаться в широкий спектр систем, будь то инструмент эпитаксии, кусок ионного имплантационного оборудования или реактор тепловой обработки. Поверхностные отделки, конструктивные конструкции и отделка также могут быть изменены и разработаны, чтобы обеспечить наилучшие характеристики в отношении конкретного применения.

SIC Arms также обладает рабочей эффективностью. Средняя замены SIC и надежность SIC нечастые, а время простоя сведена своему квалификацию; Оба означают более низкие долгосрочные затраты на техническое обслуживание. Для производственных полупроводниковых Fabs это означает повышение пропускной способности, потенциал для большей стабильности в производстве и более высоких доходности устройства.

SIC Arms наблюдалось широко распространенное использование с момента их введения в полупроводниковое сообщество, специально предназначенное в системах переноса пластин, где им приходится выдерживать как механические напряжения, так и очень строгие условия обработки. Будь то движущиеся пластины к реакторам эпитаксии, удерживая их на месте во время ионной имплантации, или переносит их в средах газа или тепловой обработки, ARM SIC обеспечивает безопасную, точную и без загрязнения обработку пластин. Надежность очевидна благодаря внедрению SIC Arms в современный портфель полупроводникового оборудования.

Semicorex sic Arm - это успешная комбинация желаемых свойств продвинутыхКремниевый карбид материал, точная инженерия и высокотемпературная стабильность. Комбинация химической стабильности, способности быть обработанной и точной изготовлением делает SIC ARM подходящим для обеспечения надежной обработки пластин в самых жестких полупроводнических процессах. SIC ARM является настраиваемой и долговечной для пособий по потреблению в конечном итоге для оказания помощи в обработке пластин и предлагает преимущества в долгосрочной эксплуатации в отношении эффективности, урожайности и стабильности процесса. Производители, ищущие современные и передовые системы обработки пластин или даже вне коробки, решения для обработки пластин и полагаются на руку SIC как проверенную, высокопроизводительную и способную систему передачи пластин и обработку для передовых требований полупроводниковой промышленности.