Кремниевые лодки

Semicorex Silicon Lods-это специализированные компоненты, используемые преимущественно в высокотемпературном росте кристаллов, полупроводниковой продукции и связанных с ними фотоэлектрическими секторами. Они построены из кремния высокой чистоты и сделаны для удержания пластин, субстратов или сырья во время тепловой обработки. Это гарантирует, что процесс происходит в чистой среде и контролируемой среде, которая невероятно важна для обеспечения того, чтобы материалы поддержали чистоту и надежную производительность без загрязнения.

Они производятся с использованием расширенных методов формирования и спекания, кремниевые лодки обеспечат превосходную точность размеров и верхнюю гладкую поверхность. Это имеет решающее значение для достижения равномерного нагрева компонентов, загруженных на подложку или лодку, что обеспечивает низкие тепловые градиенты и дефекты во время нагрева и циклов охлаждения. Кроме того, они имеют высокую температуру плавления кремния, что означает, что лодка может противостоять экстремальным температурам во время любого процесса (таких как диффузия, окисление, эпитаксия) без деформации или деградации материала. Наконец, они имеют низкий коэффициент термического расширения для кремния, который также обеспечивает механическую стабильность и снижает вероятность растрескивания и деформации при взаимодействии с быстрыми тепловыми изменениями.

Одним из основных преимуществ, связанных с кремниевыми лодками, является их высокая химическая инертность. В агрессивных процессовых средах кремниевые лодки не подвергаются атаке галогеной, кислотами и реактивным газом, обеспечивая значительное страхование того, что лодка не будет подвергаться деградации поверхности или будет генерировать изменчивость загрязняющих веществ в камеру обработки, которая может поставить под угрозу урожайность и качество продукта. Чистота материала, который может превышать> 99,999% чистоты, также чрезвычайно важна при производстве полупроводников, поскольку наличие даже минутных количеств загрязняющих веществ может резко повлиять на электрические свойства конечных устройств.

В дополнение к части роста слизи, кремниевые лодки используются на большинстве этапов изготовления пластин - и они служат надежными и предсказуемыми носителями кремниевых субстратов во время процессов термической обработки. Кремниевые лодки подвергают каждый образец на идентичное время отопления и воздействия - консистенция является ключом для поддержания качества кристалла. Они также могут быть реализованы с помощью всех типов конструкций печи и обработки атмосфер, что делает его продуктом с универсальным применением для большинства линий обработки. Гладкие поверхности внутренних компартментов обеспечивают меньше повреждения более тонкой механической структуры пластин по сравнению с другими действительно грубыми поверхностями, которые способствуют более низким рискам микрограктов при увеличении конечной скорости урожайности.

Кремниевые лодки жизненно важны для производства в процессах диффузии в полупроводнике или ионной имплантации, где пластины должны точно контролировать температуру на краю лодки, вдоль боковой стороны и равномерно нагреваться. Прочность и теплопроводность кремния дают производителю достаточное разрешение для контроля температур процесса, чтобы минимизировать время цикла и оптимизировать эффективность общего процесса. Инертность материала не повреждает взаимодействие с газовыми формами легированных военнослужащих, позволяющих жестко контролировать профили легирования.

Кремниевые лодки могут быть спроектированы в мае различных форм и размеров, которые включают плоские, прорези и различные пользовательские формы, которые выполняют требования к процессу отдельного производителя. Существует несколько вариантов настройки, включая толщину стенки, ширину слотов и конструкции, которые соответствуют различному количеству вафель разнообразных размеров. Эти параметры позволяют производителю контролировать тепловый поток, максимальную емкость лодок и загрузку/разгрузку лодок.

Еще одна область, где преимущества поверхности кремниевой лодки - это поддержание лодок и их срок полезного использования. В целом, кремниевые лодки обеспечивают длительный срок службы при сохранении нескольких процедур обработки и очистки для регулярной очистки лодок в областях высокой температуры, где они видят много «быстрой термической велосипеды». При ухоженной структуре частота замены уменьшится, что приведет к снижению затрат на операции и простоя.

Кремниевые лодки имеют решающее значение для современного полупроводникового и солнечного производства, где ключевые являются контролем процессов и профилактика загрязнения. Чистота, тепловая стабильность, механическая долговечность и химическая стабильность кремниевых лодок позволяют использовать их в процессах, которые имеют требования. Будь то в лабораторной среде или в более крупной промышленной практике, кремниевые лодки могут обеспечить постоянную и надежную производительность таким образом, чтобы улучшить качество продукции, повысить урожайность и повысить эффективность.

Максимизация этих преимуществ начинается с поиска высококачественного поставщика кремниевой лодки. Производители поставщиков, которые имеют хороший контроль качества, точную обработку и устанавливают чистые материалы, способны обеспечивать кремниевые лодки, которые не могут быть измерены только для точных деталей, пределов размеров и качества поверхности, но производят кремниевые лодки, которые изготовлены из чистого материала для долгосрочной производительности и надежности практически в любом использовании применения. Полезность кремниевых лодок в выявлении производства кремния с некоторыми из самых сложных применений, а также полупроводниковые устройства следующего поколения и высокоэффективные фотоэлектрические элементы создаются с использованием кремниевых лодок.