Силиконовое защитное кольцо

Кремниевое защитное кольцо Semicorex является важнейшим полупроводниковым компонентом в процессе травления. Его основная функция — окружить электрод и предотвратить чрезмерную утечку плазмы. При чистоте материала более 9N (99,9999999%) экранирующее кольцо может быть изготовлено как монокристаллическим, так и мультикристаллическим.кремний, обеспечивая сверхчистую работу и надежную совместимость с передовыми процессами производства полупроводников.

Точный контроль плазмы в процессе травления CCP/ICP необходим для эффективной, равномерной скорости травления и качества пластин. Неконтролируемая утечка плазмы за пределы желаемой области травления может привести к эрозии и загрязнению поверхности или повреждению компонентов внутри камеры. Кремниевое защитное кольцо представляет собой эффективное и простое решение этой проблемы, созданное для формирования защитного барьера по внешнему периметру электрода, удерживающего плазму от распространения за пределы целевой области и ограничивающего травление только желаемой областью. Кремниевое защитное кольцо также действует как внешний электрод, стабилизируя распределение плазмы и обеспечивая более равномерную энергию на поверхности пластины.

Механическая устойчивость — еще одна примечательная характеристика кремниевого кольца для травления. Поскольку он изготовлен с жесткими допусками, он обеспечивает точное позиционирование вокруг электрода и сохраняет расстояние и геометрию камеры. Такая механическая точность обеспечивает повторяемость условий процесса для уменьшения различий между отдельными циклами и помогает обеспечить крупносерийное производство полупроводников. Сам материал превосходно совместим с плазменной средой; поэтому разрушение его структуры позволяет ему обычно обеспечивать длительный срок службы и стабильность работы процесса.

Механическая устойчивость — еще одна примечательная характеристика кремниевого кольца для травления. Поскольку он изготовлен с жесткими допусками, он обеспечивает точное позиционирование вокруг электрода и сохраняет расстояние и геометрию камеры. Такая механическая точность обеспечивает повторяемость условий процесса для уменьшения различий между отдельными циклами и помогает обеспечить крупносерийное производство полупроводников. Сам материал превосходно совместим с плазменной средой; поэтому разрушение его структуры позволяет ему обычно обеспечивать длительный срок службы и стабильность работы процесса.

Долговечность и экономичность — еще два ценных преимущества. Защищая ненужные участки камеры от плазмы, защитное кольцо снижает износ других критически важных компонентов, что уменьшает затраты на техническое обслуживание и увеличивает общее время безотказной работы. Длительный срок службы и менее частая замена делают его экономически эффективным решением для заводов по производству полупроводников, позволяющим повысить производительность и тем самым снизить эксплуатационные расходы.

The КремнийМеханическая устойчивость — еще одна примечательная характеристика кремниевого кольца для травления. Поскольку он изготовлен с жесткими допусками, он обеспечивает точное позиционирование вокруг электрода и сохраняет расстояние и геометрию камеры. Такая механическая точность обеспечивает повторяемость условий процесса для уменьшения различий между отдельными циклами и помогает обеспечить крупносерийное производство полупроводников. Сам материал превосходно совместим с плазменной средой; поэтому разрушение его структуры позволяет ему обычно обеспечивать длительный срок службы и стабильность работы процесса.