Однокристаллический кремниевый душ

Монокристаллический кремний Semicorexнасадка для душадемонстрирует исключительную коррозионную стойкость, низкий коэффициент расширения и отличную теплопроводность. Устойчиво адаптируясь к суровым условиям высокой температуры, высокой коррозионной активности и высокого вакуума в производстве полупроводников, он демонстрирует исключительную устойчивость к технологическим газам, таким как газы травления и осаждения. Поэтому насадка для душа из монокристаллического кремния широко используется в процессах очистки полупроводников, процессах окисления, процессах осаждения и процессах травления.

Semicorex использует передовые методы обработки поверхности, чтобы гарантировать, что поверхность насадки для душа из монокристаллического кремния обладает чрезвычайно высокой плоскостностью и гладкостью. Между тем, благодаря стандартизированной конструкции каналов и газового тракта, поверхность насадки для душа из монокристаллического кремния равномерно распределена с множеством пор одинакового диаметра (минимальный диаметр может достигать 0,2 миллиметра). Допуск на диаметр пор насадки для душа из монокристаллического кремния точно контролируется на уровне микрометра, а внутренняя стенка пор должна быть гладкой и без заусенцев, что обеспечивает точность распределения и однородность технологического газа со структурной и технологической точек зрения.

Semicorex предоставляет профессиональные услуги по настройке для удовлетворения различных потребностей клиентов. В соответствии с различными потребностями своих клиентов компания может адаптировать внешний вид к размерам и форме реакционных камер. Оптимизированная конструкция позволяет пластинам осуществлять полный и постоянный контакт с технологическим газом на протяжении всего процесса реакции, гарантируя равномерное распределение газа по всей реакционной камере. В конечном итоге это повышает эффективность производства и качество продукции.