Силиконовая лодка на пьедестале

Semicorex Silicon Pedestal Boat — это сверхчистый носитель пластин, который был разработан с высокой чистотой и точностью для поддержки высокотемпературных полупроводниковых процессов, таких как окисление, диффузия и LPCVD (химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении). Этот носитель пластин изготовлен из 9N (99,9999999%).кремний высокой чистотыдля обеспечения исключительной чистоты, стабильности термического коэффициента расширения и механической точности для поддержки пластин и последовательного управления процессом в сверхчистых средах.

Поскольку геометрия полупроводниковых устройств продолжает уменьшаться, потребность в сверхчистых и термически совместимых компонентах для работы с пластинами никогда не была такой востребованной. Silicon Pedestal Boat отвечает этим требованиям с высокой точностью размеров и непревзойденной чистотой и может использоваться в современных печных системах, работающих при температуре от 1100°C до 1250°C.

Конструкция кремниевой лодочки может быть настроена в соответствии с требованиями заказчика, включая форму канавки, длину зуба канавки, форму, угол наклона и общую емкость загрузки пластин. Высокотемпературные кремниевые лодочки могут эффективно уменьшить контактное повреждение кремниевых пластин, повышая производительность процесса. Его высокотемпературная конструкция «башен без скольжения» поддерживает пластины только на кончике опорного зуба. По сравнению с карбидом кремния кремний относительно менее тверд, что снижает механические повреждения пластин, тем самым улучшая качество решетки и эффективно снижая производственные затраты.

Semicorex Silicon Pedestal Boat — это сверхчистый носитель пластин, который был разработан с высокой чистотой и точностью для поддержки высокотемпературных полупроводниковых процессов, таких как окисление, диффузия и LPCVD (химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении). Этот носитель пластин изготовлен из 9N (99,9999999%).монокристаллический или поликристаллический кремнийдля устранения рисков загрязнения, связанных с материалами, не содержащими кремния. Платформа имеет тот же химический состав, что и активно используемые пластины, что сводит к минимуму нежелательные реакции или диффузию ионов во время высокотемпературных процессов. Однородность материала существенно снижает физическую идентичность частиц и металлических примесей, что обеспечивает стабильно высокое качество пластин и высокий выход устройств за счет повторяющихся производственных циклов.

Лодочка Semicorex Silicon Pedestal Boat оснащена точно спроектированными пазами для пластин в сочетании с вертикальными опорными конструкциями, гарантирующими, что пластины остаются идеально выровненными и расположенными на расстоянии друг от друга во время цикла нагрева. Его размерная стабильность является исключительной: лодочка-подставка не деформируется, не сгибается и не смещается при экстремальных температурах, обеспечивая хорошее распределение температуры и газа по каждой пластине. Эта размерная стабильность оказывает немедленное положительное влияние на однородность толщины пленки во время окисления и диффузии и обеспечивает меньшее количество дефектов, а также лучшую повторяемость процесса.

Основным преимуществом лодки на кремниевой подставке являются ее оптимизированные механические и термические свойства. Твердость кремния по сравнению с SiC или кварцем поможет снизить образование микроцарапин и образование частиц из-за вибрации или движения пластины во время расширения при нагреве. Это особенно актуально для пластин, чувствительных к обратной стороне, где целостность поверхности пластины имеет решающее значение для производительности и производительности устройства.

Лодка на пьедестале обладает хорошей теплопроводностью и низким коэффициентом теплового расширения, что обеспечивает характеристики теплопередачи при сохранении формы и структурной прочности при многократном нагреве и охлаждении. Прочная конструкция также обеспечивает длительный срок службы с минимальной деформацией в экстремальных условиях печи.

Semicorex предлагает индивидуальные конструкции для различных конфигураций оборудования, включая диаметр пластин, количество слотов, высоту основания и варианты геометрии. Каждый продукт проверяется на чистоту, измеряется размер и тестируется на теплопроводность, чтобы соответствовать самым высоким стандартам в процессе производства полупроводников.

Silicon Pedestal Boat совместим с процессами окисления и диффузии, а также с LPCVD и отжигом, требующими непревзойденной однородности температуры и контроля загрязнения. Silicon Pedestal Boat совместим с другими компонентами кремниевых печей, такими как инжекторная трубка, трубка-вкладыш и держатель пластины, обеспечивая соответствие материалов и температур на протяжении всей системы обработки.