Графитовые пластинчатые токоприемники 1x2 дюйма

При изготовлении полупроводниковых пластин эпитаксиальный слой необходимо выращивать на подложке пластины для последующего изготовления полупроводниковых устройств. Поскольку процесс эпитаксиального роста очень чувствителен к колебаниям температуры и загрязнению, выбор надежныхвафельные токоприемникикритически важны. Являясь незаменимыми опорными деталями в процессе эпитаксиальной обработки пластин, точность обработки, возможность управления температурным режимом и устойчивость к загрязнениям являются решающими факторами в достижении высококачественного эпитаксиального выращивания пластин.

Функции графитовых токоприемников Semicorex 1x2"

Изготовленные с помощью специальных процессов из сверхмелкозернистого графита высокой чистоты в качестве матрицы с плотным покрытием из карбида кремния, графитовые пластинчатые сенсепторы Semicorex размером 1x2 дюйма выполняют следующие функции:

1. Безопасное и устаревшее хранение

Семикорекс 1х2"графитПластинные токоприемники отличаются прецизионной механической обработкой и обработкой, обеспечивая исключительную плоскостность поверхности и точность размеров. Это обеспечивает их надежную фиксацию в подходящем положении и обеспечивает стабильную плоскую опорную платформу для эпитаксиального роста пластин.

2. Точное равномерное распределение тепла.

Благодаря превосходной теплопроводности графита и материалов SiC графитовые пластины-приемники Semicorex 1x2" обеспечивают быстрое и равномерное распределение тепла по полупроводниковому веществу. Минимизируя температурные градиенты, графитовые пластины-приемники Semicorex 1x2" могут эффективно избегать таких проблем, как неравномерное качество эпитаксии и концентрация напряжений.

Преимущества покрытия Semicorex из карбида кремния

1. Превосходная коррозионная стойкость

Графитовые пластинчатые токоприемники Semicorex размером 1x2 дюйма, покрытые плотным покрытием из карбида кремния, эффективно устойчивы к большинству химических веществ, что делает их пригодными для применения в высококоррозионных условиях эксплуатации, когда материал часто подвергается воздействию агрессивных газов и паров химических веществ.

2. Низкое выпадение частиц

Семикорекспокрытие из карбида кремнияимеет высокую прочность сцепления с графитовой матрицей, что позволяет существенно избежать риска загрязнения подложки из-за отслоения покрытия из-за коррозии и выпадения частиц, вызванных высококоррозионными средами.

3.Надежный срок службы

Хотя графитовые матрицы обладают превосходной термической стабильностью и механической прочностью, они склонны к коррозии и распылению в условиях эпитаксиального процесса, что значительно сокращает срок службы графитовых матриц без покрытия. Благодаря полной герметизации графитовых матриц плотным покрытием SiC наши графитовые пластины-приемники размером 1×2 дюйма достигают превосходной и надежной долговечности.

Данные о материале покрытия Semicorex SiC