Графитовый токоприемник с покрытием из карбида кремния для MOCVD

Semicorex является надежным поставщиком и производителем графитового токоприемника с покрытием из карбида кремния для MOCVD. Наш продукт специально разработан для удовлетворения потребностей полупроводниковой промышленности в наращивании эпитаксиального слоя на кристалле пластины. Продукт используется в качестве центральной пластины в MOCVD с зубчатой или кольцеобразной конструкцией. Обладает высокой термостойкостью и коррозионной стойкостью, что делает его идеальным для использования в экстремальных условиях.

Отправить запрос

Описание продукта

Наш токоприемник с графитовым покрытием из карбида кремния для MOCVD имеет несколько ключевых особенностей, которые выделяют его среди конкурентов. Обеспечивает покрытие по всей поверхности, не допуская отслаивания, обладает стойкостью к высокотемпературному окислению, обеспечивая стабильность даже при высоких температурах до 1600°С. Продукт производится с высокой чистотой путем химического осаждения из газовой фазы методом CVD в условиях высокотемпературного хлорирования. Он имеет плотную поверхность с мелкими частицами, что делает его очень устойчивым к коррозии от кислот, щелочей, солей и органических реагентов.
Наш токоприемник с графитовым покрытием из карбида кремния для MOCVD предназначен для достижения наилучшей ламинарной картины газового потока, обеспечивая равномерность теплового профиля. Он предотвращает любое загрязнение или диффузию примесей, обеспечивая высококачественный эпитаксиальный рост на кристалле пластины.

Параметры графитового токоприемника с покрытием из карбида кремния для MOCVD

Основные характеристики покрытия CVD-SIC
SiC-ХОПФ свойства
Кристальная структура	Фаза FCC Î²
Плотность	г/см³	3.21
твердость	твердость по Виккерсу	2500
Размер зерна	Î¼ м	2~10
Химическая чистота	%	99.99995
Теплоемкость	Дж·кг-1 ·К-1	640
Температура сублимации	℃	2700
Фелексурная сила	МПа (4-балльная КТ)	415
Модуль Юнга	ГПа (изгиб 4pt, 1300°C)	430
Тепловое расширение (CTE)	10-6К-1	4.5
Теплопроводность	(Вт/мК)	300

Особенности графитового токоприемника с покрытием из карбида кремния для MOCVD

- Избегайте отслаивания и обеспечьте покрытие на всей поверхности
Стойкость к высокотемпературному окислению: стабильна при высоких температурах до 1600°C.
Высокая чистота: получено химическим осаждением из паровой фазы CVD в условиях высокотемпературного хлорирования.
Коррозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность и мелкие частицы.
Коррозионная стойкость: кислота, щелочь, соль и органические реагенты.
- Достичь наилучшего ламинарного потока газа
- Гарантия ровности теплового профиля
- Предотвратить любое загрязнение или диффузию примесей

Горячие Теги: Графитовый токоприемник с покрытием из карбида кремния для MOCVD, Китай, Производители, Поставщики, Фабрика, Индивидуальные, Массовые, Усовершенствованные, Прочные