Покрытие SiC представляет собой тонкий слой на токоприемнике, полученный методом химического осаждения из паровой фазы (CVD). Карбид кремния имеет ряд преимуществ перед кремнием, в том числе 10-кратную напряженность электрического поля пробоя, 3-кратную ширину запрещенной зоны, что обеспечивает материалу высокую температурную и химическую стойкость, отличную износостойкость, а также теплопроводность.
Semicorex предоставляет индивидуальное обслуживание, помогает вам внедрять инновации с использованием компонентов, которые служат дольше, сокращают время цикла и повышают производительность.
Покрытие SiC обладает рядом уникальных преимуществ.
Устойчивость к высоким температурам: токоприемник с CVD-покрытием SiC может выдерживать высокие температуры до 1600°C без значительной термической деградации.
Химическая стойкость: покрытие из карбида кремния обеспечивает превосходную стойкость к широкому спектру химикатов, включая кислоты, щелочи и органические растворители.
Износостойкость: покрытие SiC придает материалу превосходную износостойкость, что делает его пригодным для применений, связанных с высоким износом.
Теплопроводность: покрытие CVD SiC придает материалу высокую теплопроводность, что делает его пригодным для использования в высокотемпературных приложениях, требующих эффективной теплопередачи.
Высокая прочность и жесткость: токоприемник с покрытием из карбида кремния придает материалу высокую прочность и жесткость, что делает его пригодным для применений, требующих высокой механической прочности.
Покрытие SiC используется в различных областях применения.
Производство светодиодов: Токоприемник с покрытием CVD SiC используется при производстве различных типов светодиодов, включая синие и зеленые светодиоды, УФ-светодиоды и светодиоды с глубоким УФ-излучением, благодаря его высокой теплопроводности и химической стойкости.
Мобильная связь: токоприемник с CVD-покрытием SiC является важной частью HEMT для завершения эпитаксиального процесса GaN-on-SiC.
Обработка полупроводников: Токоприемник с CVD-покрытием SiC используется в полупроводниковой промышленности для различных применений, включая обработку пластин и эпитаксиальное выращивание.
Графитовые компоненты с покрытием SiC
Изготовленное из графита с покрытием из карбида кремния (SiC), покрытие наносится методом CVD на определенные марки графита высокой плотности, поэтому оно может работать в высокотемпературной печи при температуре более 3000 ° C в инертной атмосфере и 2200 ° C в вакууме. .
Особые свойства и малая масса материала обеспечивают высокую скорость нагрева, равномерное распределение температуры и исключительную точность управления.
Данные о материале покрытия Semicorex SiC
Типичные свойства |
Единицы |
Ценности |
Структура |
|
FCC β-фаза |
Ориентация |
Фракция (%) |
111 предпочтительный |
Объемная плотность |
г/см³ |
3.21 |
Твердость |
Твердость по Виккерсу |
2500 |
Теплоемкость |
Дж кг-1 К-1 |
640 |
Тепловое расширение 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
Gpa (изгиб 4 пт, 1300 ℃) |
430 |
Размер зерна |
мкм |
2~10 |
Температура сублимации |
℃ |
2700 |
Фелексуральная сила |
МПа (RT 4-точечный) |
415 |
Теплопроводность |
(Вт/мК) |
300 |
Выводы. Токоприемник с CVD-покрытием SiC представляет собой композиционный материал, сочетающий в себе свойства токоприемника и карбида кремния. Этот материал обладает уникальными свойствами, среди которых высокая температурная и химическая стойкость, отличная износостойкость, высокая теплопроводность, высокая прочность и жесткость. Эти свойства делают его привлекательным материалом для различных высокотемпературных применений, включая обработку полупроводников, химическую обработку, термообработку, производство солнечных батарей и производство светодиодов.
Эпитаксиальный модуль SIC из Semicorex сочетает в себе долговечность, чистоту и точность, которая является критическим компонентом в эпитаксиальном росте SIC. Выберите Semicorex для непревзойденного качества в графитовых решениях с покрытием и долгосрочной производительности в требовательных средах.*
Читать далееОтправить запросВерхняя полумесяца Semicorex-это полукругающий графитовый пластин, покрытый SIC, предназначенный для использования в эпитаксиальных реакторах. Выберите Semicorex для ведущей отрасли чистоты материала, точной обработки и равномерного покрытия SIC, которое обеспечивает длительную производительность и превосходное качество пластины.*
Читать далееОтправить запросПолучики SIC, покрытые SIC, представляют собой высокочислительную графитовую графитовую чувствительную перспективы, покрытые карбидом кремния CVD, предназначенных для оптимальной поддержки пластин во время высокотемпературных полупроводниковых процессов. Выберите SemiCorex для непревзойденного качества покрытия, точного производства и доказанной надежности, доверяемой ведущими полупроводниковыми тканями по всему миру.*
Читать далееОтправить запросПолучики SIC Pafer Pemptors представляют собой высокопроизводительный носитель, разработанный специально для ультратонкого осаждения пленки в условиях беззамута. Благодаря передовым материаловым инженерам, точным контролю пористости и надежной технологии покрытия SIC, Semicorex обеспечивает ведущую в отрасли надежность и настройку для удовлетворения развивающихся потребностей полупроводникового производства следующего поколения.**************************
Читать далееОтправить запрос8-дюймовые 8-дюймовые кольца для получения пластин предназначены для обеспечения точной фиксации пластины и исключительной производительности в агрессивных тепловых и химических средах. Semicorex обеспечивает инженерную инженерию для конкретного приложения, контроль с плотным размером и последовательное качество покрытия SIC, чтобы удовлетворить строгие требования передовой полупроводниковой обработки.*********************
Читать далееОтправить запросSemicorex RTP SIC Plating Plants представляют собой высокопроизводительные носители пластин, разработанные для использования в требовании быстрой среды для тепловой обработки. Доверенный ведущих производителей полупроводников Semicorex обеспечивает превосходную тепловую стабильность, долговечность и контроль загрязнения, поддерживаемые строгими стандартами качества и точным производством.**********************
Читать далееОтправить запрос