8 -дюймовое верхнее кольцо EPI

SemiCorex 8 -дюймовый EPI Top Top Ring является специализированным компонентом эпитаксиальных (EPI) систем осаждения, обеспечивающих высокую производительность в качестве кольца верхней крышки в реакционной камере. С акцентом на структурную целостность и термическую стабильность во время эпитаксиального роста полупроводниковых пластин, верхнее кольцо EPI изготовлено из графита с высокой чистотой и покрыто карбидом из кремния (SIC), чтобы противостоять температуре и химически реактивной среде производства полупроводников.

В эпитаксиальных реакторах верхнее кольцо помогает сохранить пластинную среду и играет важную роль в температурной однородности и потоке газа во время осаждения в рамках сборки репуцептора. Покрытие SIC на графитовом субстрате обеспечивает верхнее кольцо EPI с термической стабильностью и инертной средой, необходимой для защиты графитового ядра из -за воздействия газов процессов во время характеристик верхнего кольца EPI (водород, салон, клоросиланты и т. Д.). Твердость и проводимость слоя SIC повышают производительность верхнего кольца EPI, предотвращая деградацию и обеспечивая более стабильные слои на протяжении всего производственного цикла.

Благодаря приверженности точности размеров, консистенции покрытия и повторяемостью, 8 -дюймовое верхнее кольцо EPI изготавливается с точной техникой. Графитный субстрат обработана для плотных допусков и термически очищен для отделения примесей, обеспечивая чистый подложку с превосходной чистотой и прочностью. Покрытие SIC применяется посредством химического отложения паров (ССЗ), образуя плотный, последовательный и сильно связанный защитный слой. Этот процесс минимизирует генерацию частиц и позволяет покрытию поддерживать целостность поверхности во время расширенного использования.

Производители полупроводников полагаются на верхнее кольцо EPI для поддержания критических параметров камеры и поддержки без дефектных пластин во время производства. Конфигурация предназначена для использования с ведущими 8-дюймовыми системами обработки пластин OEM. Пользовательские варианты доступны для толщины, поверхностной отделки и рисунков для лучшего теплового управления или даже распределения газа.

Соответствие свойствам графита с покрытием SIC для этого приложения принимает комбинацию лучших свойств из обоих материалов; Графит очень обрабатывается и обладает тепловым амортизатором в сочетании с карбидом кремния, который является более сложным, коррозионным устойчивом и имеет более длительный срок службы. Эта комбинация в конечном итоге дает вам верхнее кольцо EPI, которое является надежным при высокой температуре, и гарантирует чистую и стабильную среду обработки, которая уменьшает интервалы обслуживания и обеспечивает общее увеличение времени использования оборудования.

Графитовые компоненты играют незаменимую и важную роль в производстве полупроводников. Качество графитового материала значительно влияет на качество готового продукта. Наша консистенция графита и однородность материала контролируется и гарантируется на протяжении всего производственного процесса.

1. Мрачное производство с использованием небольшой карбонизационной печи с мощностью всего 50 кубических метров.

2. Каждый кусок материала контролируется и отслеживается.

3. Мониторинг тему в нескольких точках в печи обеспечивает минимальные температурные различия.

4. Мониторинг тему в нескольких точках на материале обеспечивает минимальные температурные различия.

8-дюймовое EPI Top Ring By Semicorex предлагает исключительную производительность, консистенцию партии к партии и проверенную надежность в самых сложных полупроводниках кремниевых, кремниевых карбида или других составных полупроводниковых процессов. На каждом этапе производства мы производим продукты с контролем качества, что означает, что каждый продукт, приобретенный для полупроводниковой промышленности, превышает качественные характеристики.

Выберите 8-дюймовое кольцо EPI от Epi от SemiCorex для вашего приложения Epitaxy, чтобы воспользоваться возможностями, предлагаемыми с помощью точной инженерии, превосходных материалов и настройки, специфичной для приложения для повышения урожайности и производительности устройства.