SiC лопатки

Лопатки Semicorex SiC являются «носителями» пластин, доставляя пластины в печи с температурой выше 1000 градусов Цельсия. В этом их ключевое преимущество: высокая чистота, высокотемпературная стабильность, сохранение механической жесткости при транспортировке пробы в экстремальных условиях. Материалы высокой чистоты эффективны для предотвращения загрязнения пластины металлическими примесями; так же как и высокая температурная стабильностькарбид кремния, поскольку он сохраняет химическую стабильность при температурах обработки, которые исключают выделение газов из металлических примесей или частиц, загрязняющих пластину, обеспечивая стабильный выход пластины. Наконец,также совместимы с интегрированными системами переноса пластин, что еще больше снижает зависимость от людей и увеличивает пропускную способность.также совместимы с интегрированными системами переноса пластин, что еще больше снижает зависимость от людей и увеличивает пропускную способность.

Карбидно-кремниевые пластины являются уникальным компонентом носителя, специально предназначенным для транспортировки и интеграции полупроводниковых пластин в пакетную обработку в таких процессах, как высокотемпературное окисление и диффузия, среди других. Сделано с высокой чистотойкарбид кремния (SiC)Лопасти из карбида кремния обеспечивают термическую стабильность, механическую прочность и химическую стойкость, обеспечивая стабильную транспортировку при температурах выше 1000 °C. Лопатки из карбида кремния необходимы для обработки пластин: они гарантируют правильное обращение с хрупкими подложками, сохраняя при этом целостность и постоянство на протяжении всего процесса окисления, диффузии и отжига.

Разработанные как прочные и надежные, лопатки SiC представляют собой консольный кронштейн, который удерживает лодочки с пластинами или стопки пластин. Лопатка поддерживает пластины, когда они вставляются или извлекаются из технологической камеры. Обычные материалы выходят из строя при таких высоких температурах из-за деформации, коробления или химического разложения. Механическая стабильность и структурная целостность карбида кремния позволяют лопатке выдерживать многочисленные термические циклы без потери формы или функции. Эта возможность важна для поддержания выравнивания печи, предотвращения повреждения пластин во время процесса и минимизации дорогостоящих простоев.

Термическая стабильность SiC-лопастей дополняется превосходной химической стойкостью к химически активным газам, которые обычно проявляются в процессах окисления и диффузии (например, кислород, хлор и другие агрессивные вещества при высоких температурах). Многие материалы разрушаются или загрязняются под воздействием высокой температуры и кислорода. Карбид кремния химически инертен, а его плотная микроструктура гарантирует отсутствие химических реакций, обеспечивая как структурную целостность лопасти, так и чистую среду для пластины. Результирующий риск загрязнения сведен к минимуму для производителей полупроводников, которые работают на некоторых из самых современных технологических узлов, для которых даже следовые элементы загрязнений могут вызвать значительные изменения в работе устройств.

Механическая целостность лопастей из карбида кремния также обеспечивает ценность в процессах обработки. Консольная структурная форма требует материала, который может выдерживать вес стопок слоев, не изгибается и не провисает. Очень высокий модуль упругости и очень высокая твердость карбида кремния делают его подходящим для выполнения необходимых механических структурных функций. SiC Paddle сохраняет плоскостность и структуру даже при загрузке пластин. Это означает постоянный контроль печи и ее состояния в течение длительного периода производства.