Керамическая лопатка SiC

Керамическая лопасть Semicorex SiC — это усовершенствованная деталь, разработанная для высокотемпературных полупроводниковых печей, таких как окисление и диффузия. Лопатка действует как консольная опора, удерживая и перемещая пластины при высоких температурах. Керамическая лопатка Semicorex SiC позволяет получать высокочистые и высокопрочные керамические компоненты для высокотемпературных процессов, требующих надежности, стабильности и производительности в ходе производственного процесса.

Лопатки изготовлены из высокочистогокарбид кремния (SiC), специально разработанный для того, чтобы противостоять жестким термическим и химическим условиям процесса производства полупроводников. Когда пластины обрабатываются путем окисления и диффузии, они подвергаются воздействию температур выше 1000 градусов C, а также химически активных газов, таких как кислород, пар или легирующая атмосфера. При этих температурах структурная целостность будет зависеть от чистоты материала.

Еще одной важной характеристикой керамических лопастей из карбида кремния является их превосходная работа при высоких температурах. Благодаря температуре плавления карбида кремния 2700+C лопатки сохраняют прочность и механическую стабильность при воздействии высоких температур.

характеристики с течением времени. Термические свойства ограничивают коробление и растрескивание материала во время повторяющихся циклов нагрева и охлаждения, обеспечивая при этом длительный срок службы в производственных условиях.

Обработка полупроводников требует сверхчистой среды, поскольку даже незначительные количества примесей могут повлиять на производительность и поведение устройств. Материал SiC, используемый в лопастях, имеет покрытие SiC, нанесенное методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), что обеспечивает исключительно высокую чистоту материала при минимизации металлических загрязнений. Керамические лопатки из карбида кремния остаются чистыми и стабильными на протяжении всего срока службы. В качестве консольных опор лопатки должны обеспечивать надежную поддержку держателей пластин или лодочек во время их установки и извлечения из печи. Из-заКарбид кремнияБлагодаря присущей им прочности и жесткости они обладают хорошими несущими свойствами с минимальным прогибом, что важно для правильного обращения с пластинами и их выравнивания. В окислительных и диффузионных печах коррозионная атмосфера может со временем разрушать традиционные материалы, но карбид кремния способен сохранять свою химическую стабильность, продлевая срок службы лопасти. Это приводит к значительному снижению затрат на техническое обслуживание и замену, поскольку лопасти не нужно заменять или ремонтировать почти так часто.

Помимо производительности, существует гибкость в настройке лопастей для конкретного оборудования и процессов. Размеры, допуски и качество поверхности можно сделать гибкими, чтобы обеспечить соответствие конструкции печи и любой другой системе обработки пластин. Возможность достижения высокой степени точности размеров за счет прецизионной обработки керамики также позволит изготавливать лопасти сложной геометрии. Весь этот набор функций призван обеспечить бесперебойную работу и легкую интеграцию в существующие производственные линии.

Карбид кремния-керамикаЛопатки, сочетающие в себе высокую чистоту, термическую стабильность, механическую прочность и химическую стойкость, являются важными материалами в процессах окисления и диффузии полупроводников. Предоставляя стабильную и чистую платформу для переноса пластин, они напрямую способствуют повышению производительности, стабильности процесса и общей эффективности производства.