Направляющие кольца с покрытием из карбида тантала

Направляющие кольца обычно устанавливаются над графитовым тиглем внутри системы теплового поля. Они работают вместе с тиглем, нагревателем, термоизоляционным цилиндром и другими полупроводниковыми компонентами, направляя и контролируя распределение тепла и технологических газов.

АпреимуществаТПокрытие из карбида антала

Известен превосходной производительностьюTaC-покрытиеВ приложениях для выращивания монокристаллов полупроводников третьего поколения покрытие из карбида тантала дает следующие преимущества:

1. Исключительная термическая стабильность.

Карбид тантала обладает превосходной термической стойкостью и сверхвысокой температурой плавления 3880 ℃. Обладая исключительной термической стабильностью, направляющие кольца Semicorex с покрытием из карбида тантала могут стабильно использоваться в высокотемпературных средах ниже 2500 ℃. Кроме того, сочетание этих двух материалов сводит к минимуму риски растрескивания и отслаивания покрытия, вызванные перепадами температур, что значительно обеспечивает структурную целостность компонента во время повторяющихся процессов нагрева и охлаждения.

2. Замечательная коррозионная стойкость

Карбид тантала обладает замечательной коррозионной стойкостью и стойкостью к окислению, а также химически инертен к большинству химически активных газов, таких как аммиак, водород и кремний. Благодаря такой химической стабильности направляющие кольца Semicorex с покрытием из карбида тантала эффективно предотвращают эрозию матрицы химически активными газами и повреждение ее структурной целостности, а также позволяют избежать риска загрязнения реагентами и примесями, попадающими в кристаллическую структуру.

Характеристики направляющих колец Semicorex с покрытием из карбида тантала

Семикорекснаправляющие кольца с покрытием из карбида танталаиспользовать графит высокой чистоты в качестве матрицы и наносить покрытие TaC на поверхность с помощью технологии CVD. Сочетание этих двух материалов позволяет направляющим кольцам Semicorex с покрытием из карбида тантала обеспечить следующие преимущества:

1. Управление потоком газа и оптимизация поля потока.

Во время роста кристаллов использование направляющих колец помогает оптимизировать распределение потока в тепловом поле и направляет химически активные газы в контролируемое направление потока и равномерное распределение. Благодаря своей особой конструкции направляющие кольца Semicorex с покрытием из карбида тантала могут направлять и равномерно распределять газ, что эффективно позволяет избежать чрезмерно высоких или низких локальных концентраций газа.

2.Регулирование температуры и оптимизация теплового поля.

Направляющие кольца Semicorex с покрытием из карбида тантала обладают превосходной теплопроводностью, играя решающую роль в регулировании распределения температуры и обеспечении стабильного температурного поля для роста кристаллов. Например, направляющие кольца Semicorex с покрытием из карбида тантала могут помочь поддерживать температурный градиент при PVT-росте кристаллов карбида кремния, гарантируя, что материалы разлагаются, транспортируются и кристаллизуются в подходящих условиях.