Детали из графита с покрытием из карбида тантала

Детали из графита с покрытием из карбида тантала играют решающую роль в процессах производства полупроводников, где точность, надежность и устойчивость к суровым условиям имеют первостепенное значение. Эти специально обработанные компоненты, в том числе кольца для травления и тигли, предназначены для работы в сложных условиях, встречающихся при производстве полупроводников.

Графитовые детали с покрытием из карбида тантала, такие как кольца для травления, являются важнейшими компонентами, используемыми в полупроводниковой промышленности для таких процессов, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и физическое осаждение из паровой фазы (PVD). Эти кольца вступают в прямой контакт с химически активными газами и высокотемпературной средой в процессе травления.

Графит с покрытием из карбида тантала. Детали покрыты тонким слоем карбида тантала. Это покрытие обеспечивает исключительную износостойкость и защиту от агрессивных химикатов, обеспечивая долговечность и стабильную работу.

Покрытие из карбида тантала повышает твердость и химическую стабильность травильных колец, предотвращая деградацию и загрязнение. Это также способствует равномерным результатам травления и увеличению срока службы.