Тигель с покрытием TaC

Представляем тигель с покрытием CVD Tac — идеальное решение для производителей и пользователей полупроводникового оборудования, которым требуется высочайший уровень качества и производительности. Наши тигли покрыты современным слоем CVD Tac (карбид тантала), который обеспечивает превосходную стойкость к коррозии и износу, что делает их идеальными для использования в различных полупроводниковых приложениях.

Отправить запрос

Описание продукта

Наши тигли, изготовленные из высококачественных материалов и покрытые самой передовой технологией CVD Tac, обеспечивают исключительную производительность и долговечность. Покрытие CVD Tac обеспечивает очень однородный, плотный слой, обладающий высокой устойчивостью к химическому воздействию, истиранию и тепловому удару. Это гарантирует, что наши тигли сохранят свою форму и размеры даже после многократного использования, что снижает необходимость частой замены.

Наши тигли с покрытием CVD Tac также хорошо совместимы с широким спектром полупроводниковых процессов, включая химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD) и атомно-слоевое осаждение (ALD). Независимо от того, производите ли вы микрочипы, солнечные элементы или другие полупроводниковые устройства, наши тигли помогут вам достичь оптимальных результатов.

Параметры покрытия TaC

Проекты	Параметры
Плотность	14,3 (г/см³)
излучательная способность	0.3
КТР (×10^-6/К)	6.3
Твердость (НК)	2000
Сопротивление (Ом-см)	1×10^-5
Термическая стабильность	<2500 ℃
Изменение размеров графита	-10~-20ум (справочное значение)
Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Вышеуказанные значения являются типичными.