Тигель с покрытием TaC

Представляем тигель с покрытием CVD Tac — идеальное решение для производителей полупроводникового оборудования и пользователей, которым требуется высочайший уровень качества и производительности. Наши тигли покрыты современным слоем CVD Tac (карбид тантала), который обеспечивает превосходную устойчивость к коррозии и износу, что делает их идеальными для использования в различных полупроводниковых приложениях.

Отправить запрос

Описание продукта

Изготовленные из высококачественных материалов и покрытые самой передовой технологией CVD Tac, наши тигли обеспечивают исключительную производительность и долговечность. Покрытие CVD Tac обеспечивает однородный, плотный слой, обладающий высокой устойчивостью к химическому воздействию, истиранию и тепловому удару. Это гарантирует, что наши тигли сохранят свою форму и размеры даже после многократного использования, что снижает потребность в частой замене.

Наши тигли с покрытием CVD Tac также хорошо совместимы с широким спектром полупроводниковых процессов, включая химическое осаждение из паровой фазы (CVD), физическое осаждение из паровой фазы (PVD) и атомно-слоевое осаждение (ALD). Независимо от того, производите ли вы микросхемы, солнечные элементы или другие полупроводниковые устройства, наши тигли помогут вам достичь оптимальных результатов.

Параметры покрытия TaC

Проекты	Параметры
Плотность	14,3 (г/см³)
Коэффициент излучения	0.3
КТР (×10^-6/К)	6.3
Твердость (НК)	2000
Сопротивление (Ом-см)	1×10^-5
Термическая стабильность	<2500°C
Изменение размера графита	-10~-20мкм (справочное значение)
Толщина покрытия	≥ 20 мкм типичное значение (35 мкм ± 10 мкм)

Выше приведены типичные значения