Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) – это соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Пиковая температура плавления карбидов тантала составляет около 3880°C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают возможности производительности, используемые в эпитаксиальных процессах соединения полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материале покрытия Semicorex TaC
Проекты |
Параметры |
Плотность |
14,3 (г/см³) |
Коэффициент излучения |
0.3 |
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
Твердость (НК) |
2000 |
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
Термическая стабильность |
<2500℃ |
Изменение размеров графита |
-10~-20ум (справочное значение) |
Толщина покрытия |
Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
|
|
Вышеуказанные значения являются типичными. |
|
Графитовый патрон Semicorex TaC с покрытием — это высокопроизводительный компонент, предназначенный для точной обработки пластин и высокотемпературных процессов в производстве полупроводников. Выбирайте Semicorex из-за его инновационных и надежных продуктов, которые обеспечивают оптимальную производительность и долговечность в требовательных полупроводниковых приложениях.*
Читать далееОтправить запросКольцо Semicorex TaC — это высокопроизводительный компонент, предназначенный для выращивания монокристаллов SiC, обеспечивающий оптимальное распределение потока газа и контроль температуры. Выбирайте Semicorex за наш опыт в области современных материалов и точного машиностроения, предоставляющий долговечные и надежные решения, которые повышают эффективность и качество ваших полупроводниковых процессов.*
Читать далееОтправить запросДеталь Semicorex из карбида тантала — это графитовый компонент с покрытием TaC, предназначенный для высокопроизводительного использования в процессах выращивания кристаллов карбида кремния (SiC), обладающий превосходной температурной и химической стойкостью. Выбирайте Semicorex, чтобы приобрести надежные и высококачественные компоненты, повышающие качество кристаллов и эффективность производства при производстве полупроводников.*
Читать далееОтправить запросКольца Semicorex из карбида тантала являются важнейшими компонентами, используемыми в передовых процессах производства полупроводников. Компания Semicorex, известная своей исключительной твердостью, высокой температурой плавления и химической инертностью, стремится поставлять продукцию, отвечающую самым высоким стандартам качества и производительности, гарантируя, что наши клиенты останутся в авангарде инноваций в полупроводниковой промышленности.*
Читать далееОтправить запросSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor представляет собой графитовый лоток, покрытый карбидом тантала, который используется при эпитаксиальном выращивании карбида кремния для улучшения качества и производительности пластин. Выбирайте Semicorex из-за его передовой технологии нанесения покрытий и долговечных решений, которые обеспечивают превосходные результаты эпитаксии карбида кремния и увеличенный срок службы токоприемников.*
Читать далееОтправить запросНаправляющие кольца с покрытием TaC представляют собой графитовые кольца с покрытием из карбида тантала, предназначенные для использования в печах для выращивания кристаллов карбида кремния для улучшения качества кристаллов. Выбирайте Semicorex из-за его передовой технологии нанесения покрытий, обеспечивающей превосходную долговечность, термическую стабильность и оптимизированные характеристики роста кристаллов.*
Читать далееОтправить запрос