Графитовое покрытие TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) представляет собой соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Точка плавления карбидов тантала достигает пика около 3880 ° C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают рабочие характеристики, используемые в эпитаксиальных процессах составных полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материалах покрытия Semicorex TaC
Проекты |
Параметры |
Плотность |
14,3 (г/см³) |
Коэффициент излучения |
0.3 |
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
Твердость (НК) |
2000 |
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
Термическая стабильность |
<2500°C |
Изменение размера графита |
-10~-20мкм (справочное значение) |
Толщина покрытия |
≥ 20 мкм типичное значение (35 мкм ± 10 мкм) |
|
|
Выше приведены типичные значения |
|
Детали Semicorex с графитовым покрытием TaC — это изготовленные с высокой точностью компоненты, специально разработанные для того, чтобы выдерживать жесткие условия обработки полупроводников. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросГрафитовое покрытие Semicorex TaC Coating представляет собой передовое решение в области термического применения для выращивания кристаллов и эпитаксиальных (эпитаксиальных) процессов. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросКольцо Semicorex TaC Coating Ring является ключевым компонентом в сфере выращивания монокристаллов в термическом поле. Созданное с точностью и инновациями, это специализированное направляющее кольцо играет решающую роль в сложном процессе производства монокристаллического материала. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросВафельный токоприемник Semicorex с покрытием TaC является важнейшим компонентом, используемым в печах химического осаждения металлов и органических соединений (MOCVD) для эпитаксиальной (эпи) обработки полупроводников. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросПластина Semicorex TaC с покрытием из карбида тантала — это передовое решение, разработанное для удовлетворения строгих требований производства полупроводников, особенно на этапе эпитаксиальной (эпи) обработки. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросНаправляющее кольцо Semicorex TaC с покрытием — вершина инноваций в печах для выращивания монокристаллов SiC (карбида кремния). Это направляющее кольцо, тщательно разработанное с учетом строгих требований полупроводниковой промышленности, обещает по-новому взглянуть на процессы выращивания кристаллов с беспрецедентной точностью и надежностью.
Читать далееОтправить запрос