Держатель затравочных кристаллов с покрытием TaC

Субстратс покрытием TaCДержатель затравочного кристалла обычно изготавливается из графита, карбида кремния или углеродно-углеродных композитных материалов, а затем на его поверхность наносится слой покрытия TaC с помощью передовой технологии сверхвысокотемпературного химического осаждения из паровой фазы (CVD). Держатель затравочных кристаллов с покрытием TaC, изготовленный этим методом, обладает превосходной коррозионной стойкостью, сверхмеханической прочностью, хорошей устойчивостью к высоким температурам и эффективной теплопроводностью.

Функция держателя затравочных кристаллов с покрытием TaC

1. Функция поддержки

Держатель затравочных кристаллов Semicorex с покрытием TaC обеспечивает стабильную опорную платформу для затравочных кристаллов, гарантируя, что затравочный кристалл сохраняет фиксированное положение в сложных условиях, таких как высокая температура и высокий вакуум. Это эффективно предотвращает такие проблемы, как смещение кристаллов или повреждение из-за вибрации и потока воздуха, и, таким образом, обеспечивает непрерывность и стабильность роста кристаллов.

2. Защитный эффект

Держатель затравочных кристаллов с покрытием TaC установлен над крышкой графитового тигля и изолирует графитовую крышку от высокотемпературных паров Si. Это эффективно предотвращает коррозию, вызванную паром, и продлевает срок службы графитовой крышки. Кроме того, присущая покрытию TaC химическая стабильность и термостойкость также помогают уменьшить попадание примесей, обеспечивая стабильную и чистую среду для роста затравочных кристаллов.

3. Контроль температуры

В держателе затравочных кристаллов Semicorex TaC с покрытием используются передовые технологии производства. Точный контроль температуры теплового поля может быть достигнут путем умелой оптимизации их формы, размеров и толщины покрытия. Это значительно снижает количество дефектов и эффективно способствует равномерному росту кристаллов.