Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) – это соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Пиковая температура плавления карбидов тантала составляет около 3880°C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают возможности производительности, используемые в эпитаксиальных процессах соединения полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материале покрытия Semicorex TaC
Проекты |
Параметры |
Плотность |
14,3 (г/см³) |
Коэффициент излучения |
0.3 |
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
Твердость (НК) |
2000 |
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
Термическая стабильность |
<2500℃ |
Изменение размеров графита |
-10~-20ум (справочное значение) |
Толщина покрытия |
Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
|
|
Вышеуказанные значения являются типичными. |
|
Направляющее кольцо Semicorex TaC с покрытием является важной частью оборудования для химического осаждения металлоорганических соединений (MOCVD), обеспечивая точную и стабильную доставку газов-прекурсоров во время процесса эпитаксиального роста. Направляющее кольцо с покрытием TaC обладает рядом свойств, которые делают его идеальным для выдерживания экстремальных условий в камере реактора MOCVD.**
Читать далееОтправить запросЗажим для пластин Semicorex TaC Coating является вершиной инноваций в процессе эпитаксии полупроводников, важнейшем этапе производства полупроводников. Благодаря нашему стремлению поставлять продукцию высочайшего качества по конкурентоспособным ценам, мы готовы стать вашим долгосрочным партнером в Китае.*
Читать далееОтправить запросДатчик Semicorex MOCVD Susceptor с покрытием TaC — это передовой компонент, тщательно разработанный для обеспечения оптимальной производительности в процессах эпитаксии полупроводников в системах MOCVD. Компания Semicorex непоколебима в своем стремлении поставлять продукцию высочайшего качества по очень конкурентоспособным ценам. Мы стремимся установить долгосрочное партнерство с вами в Китае.*
Читать далееОтправить запросКольцо Semicorex CVD TaC с покрытием является важнейшим компонентом в обработке полупроводников, символизируя зенит современной технологии материалов. Созданное для применения в самых суровых условиях, где царит точность и надежность, это кольцо воплощает в себе сочетание передовых технологий нанесения покрытий и надежных материалов. Semicorex постоянно поставляет продукцию высшего качества по конкурентоспособным ценам, и мы с нетерпением ожидаем установления долгосрочного партнерства с вами в Китае.*
Читать далееОтправить запросПланетарный датчик Semicorex TaC с покрытием — это узкоспециализированный компонент, предназначенный для использования в эпитаксиальных процессах производства полупроводников. Компания Semicorex стремится поставлять продукцию высочайшего качества по конкурентоспособным ценам. Мы стремимся установить долгосрочное партнерство с вами в Китае.*
Читать далееОтправить запросНаправляющее кольцо Semicorex с покрытием из карбида тантала — это усовершенствованный компонент, специально разработанный для полупроводниковой промышленности, играющий решающую роль в выращивании кристаллов карбида кремния (SiC). Этот продукт разработан с учетом жестких требований высокотемпературных и напряженных сред, присущих процессам выращивания полупроводниковых кристаллов. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае*.
Читать далееОтправить запрос