Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) – это соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Пиковая температура плавления карбидов тантала составляет около 3880°C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают возможности производительности, используемые в эпитаксиальных процессах соединения полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материале покрытия Semicorex TaC
Проекты |
Параметры |
Плотность |
14,3 (г/см³) |
Коэффициент излучения |
0.3 |
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
Твердость (НК) |
2000 |
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
Термическая стабильность |
<2500℃ |
Изменение размеров графита |
-10~-20ум (справочное значение) |
Толщина покрытия |
Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
|
|
Вышеуказанные значения являются типичными. |
|
Деталь Semicorex из карбида тантала Halfmoon — это важнейший компонент, используемый в процессе эпитаксии полупроводников, важнейшем этапе производства полупроводниковых устройств. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае*.
Читать далееОтправить запросТигель с покрытием Semicorex TaC стал важным инструментом в поисках высококачественных полупроводниковых кристаллов, позволяющим добиться прогресса в области материаловедения и повышения производительности устройств. Уникальное сочетание свойств тиглей с покрытием TaC делает их идеально подходящими для сложных условий процессов выращивания кристаллов, предлагая явные преимущества по сравнению с традиционными материалами.**
Читать далееОтправить запросТрубка Semicorex TaC с покрытием представляет собой вершину материаловедения, разработанную для того, чтобы выдерживать экстремальные условия, встречающиеся в современном производстве полупроводников. Труба с покрытием TaC, созданная путем нанесения плотного однородного слоя TaC на изотропную графитовую подложку высокой чистоты методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), предлагает убедительное сочетание свойств, которые превосходят традиционные материалы в сложных высокотемпературных и химически агрессивных средах. **
Читать далееОтправить запросПолумесяц с покрытием Semicorex TaC предлагает неоспоримые преимущества при эпитаксиальном выращивании карбида кремния (SiC) для силовой электроники и радиочастотных приложений. Эта комбинация материалов решает критические проблемы эпитаксии SiC, обеспечивая более высокое качество пластин, повышение эффективности процесса и снижение производственных затрат. Мы в Semicorex занимаемся производством и поставкой высокопроизводительных полумесяцев с покрытием TaC, которые сочетают в себе качество и экономическую эффективность.**
Читать далееОтправить запросУплотнительное кольцо Semicorex TaC с покрытием, нанесенное на уплотнительные компоненты, обеспечивает исключительные эксплуатационные преимущества в сложных условиях производства полупроводников. Покрытие TaC решает критические проблемы, связанные с химической стойкостью, экстремальными температурами и механическим износом, обеспечивая более высокую производительность процесса, увеличение времени безотказной работы оборудования и, в конечном итоге, снижение производственных затрат. Мы в Semicorex специализируемся на производстве и поставке высокоэффективных уплотнительных колец с покрытием TaC, которые сочетают качество с экономической эффективностью.**
Читать далееОтправить запросДатчик Semicorex с покрытием из карбида тантала является важнейшим компонентом, играющим ключевую роль в процессах осаждения, необходимых для создания полупроводниковых пластин. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае*.
Читать далееОтправить запрос