Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) – это соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Пиковая температура плавления карбидов тантала составляет около 3880°C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают возможности производительности, используемые в эпитаксиальных процессах соединения полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материале покрытия Semicorex TaC
Проекты |
Параметры |
Плотность |
14,3 (г/см³) |
Коэффициент излучения |
0.3 |
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
Твердость (НК) |
2000 |
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
Термическая стабильность |
<2500℃ |
Изменение размеров графита |
-10~-20ум (справочное значение) |
Толщина покрытия |
Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
|
|
Вышеуказанные значения являются типичными. |
|
Уплотнительное кольцо Semicorex TaC с покрытием, нанесенное на уплотнительные компоненты, обеспечивает исключительные эксплуатационные преимущества в сложных условиях производства полупроводников. Покрытие TaC решает критические проблемы, связанные с химической стойкостью, экстремальными температурами и механическим износом, обеспечивая более высокую производительность процесса, увеличение времени безотказной работы оборудования и, в конечном итоге, снижение производственных затрат. Мы в Semicorex специализируемся на производстве и поставке высокоэффективных уплотнительных колец с покрытием TaC, которые сочетают качество с экономической эффективностью.**
Читать далееОтправить запросДатчик Semicorex с покрытием из карбида тантала является важнейшим компонентом, играющим ключевую роль в процессах осаждения, необходимых для создания полупроводниковых пластин. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае*.
Читать далееОтправить запросКарбидный патрон Semicorex Tantalum Carbide Chuck — это современный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников, известный своими исключительными термическими и механическими свойствами. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае*.
Читать далееОтправить запросКольцо Semicorex TaC с покрытием является важнейшим компонентом, отвечающим этим строгим требованиям. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае*.
Читать далееОтправить запросДушевая головка с покрытием Semicorex TaC является неотъемлемой частью процесса химического осаждения из паровой фазы, обеспечивая непревзойденную производительность и долговечность. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае*.
Читать далееОтправить запросПатрон Semicorex TaC с покрытием представляет собой значительный прогресс в области производства полупроводников. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае*.
Читать далееОтправить запрос