Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) – это соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Пиковая температура плавления карбидов тантала составляет около 3880°C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают возможности производительности, используемые в эпитаксиальных процессах соединения полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материале покрытия Semicorex TaC
Проекты |
Параметры |
Плотность |
14,3 (г/см³) |
Коэффициент излучения |
0.3 |
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
Твердость (НК) |
2000 |
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
Термическая стабильность |
<2500℃ |
Изменение размеров графита |
-10~-20ум (справочное значение) |
Толщина покрытия |
Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
|
|
Вышеуказанные значения являются типичными. |
|
Покрытие Semicorex TaC Half-moon — это специализированный компонент, изготовленный из графита с покрытием из карбида тантала (TaC), предназначенный для использования в эпитаксиальных процессах. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex TaC Coating Chuck — современный вакуумный патрон с покрытием TaC, специально разработанный для полупроводниковых печей. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросВы можете быть уверены, что купите эпитаксиальную пластину с покрытием TaC на нашем заводе. Эпитаксиальная пластина с покрытием Semicorex TaC (карбид тантала) обладает исключительной термостойкостью, что делает ее идеальной для применений, подвергающихся воздействию высоких температур. Его замечательная способность противостоять нагреву обеспечивает долговечность и надежность в сложных условиях. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросПластина Semicorex TaC Coated Plate — это специализированный диск, предназначенный для использования в эпитаксиальных процессах SiC и изготовленный с высокой точностью из высококачественного графитового материала. Его поверхность тщательно покрыта карбидом тантала (TaC), соединением, известным своей исключительной чистотой и прочностью. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросПриспособление для нанесения покрытия Semicorex TaC является ключевым компонентом в процессе производства полупроводников. Оно тщательно изготовлено из графита и усилено эластичным слоем покрытия из карбида тантала. Этот важнейший элемент оборудования воплощает в себе сочетание передовых технологий материаловедения и точного машиностроения и предназначен для удовлетворения строгих эксплуатационных требований и строгих стандартов, распространенных в производстве полупроводников. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросSemicorex TaC Coating Susceptor представляет собой вершину технологии материалов, тщательно изготовленный из высококачественного графита и усиленный покрытием из карбида тантала. Этот инновационный компонент, разработанный в первую очередь для использования в процессах выращивания кристаллов SiC и эпитаксиальных процессах SiC, является образцом долговечности и производительности в экстремальных термических и химических средах. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос