Тигель из карбида тантала

Тигель Semicorex из карбида тантала тщательно изготовлен из графита, который затем покрывается карбидом тантала (TaC), сочетанием, которое обеспечивает превосходные характеристики в высокотемпературных и химически сложных условиях выращивания кристаллов SiC.

Карбид тантала — это огнеупорный керамический материал, известный своей исключительной твердостью, химической стойкостью и способностью сохранять структурную целостность при чрезвычайно высоких температурах. Покрывая графитовый тигель TaC, тигель из карбида тантала унаследовал эти полезные свойства, значительно повышая его производительность и срок службы. Покрытие TaC действует как защитный барьер, предотвращая реакцию графита с материалом SiC или другими газами, присутствующими в процессе роста. Это гарантирует сохранение целостности тигля и отсутствие каких-либо загрязнений, которые могут поставить под угрозу качество кристаллов SiC.

Тигель из карбида тантала способен работать при повышенных температурах, необходимых для роста кристаллов SiC. Кристаллы SiC обычно выращиваются при температуре, превышающей 2000°C, и постоянное поддержание таких высоких температур имеет решающее значение для производства кристаллов высокого качества. Графитовый тигель с покрытием TaC может выдерживать такие экстремальные условия, не деформируясь и не разрушаясь, обеспечивая стабильную среду для процесса роста кристаллов. Эта стабильность необходима для достижения желаемого размера кристаллов, чистоты и структурных свойств, необходимых для полупроводниковых применений.

Тигель из карбида тантала обладает высокой химической стойкостью, что делает его незаменимым для роста кристаллов SiC. На протяжении всего процесса роста вводятся различные газы и химически активные вещества, способствующие образованию кристаллов SiC. Эти среды могут быть очень агрессивными, создавая угрозу структурной целостности тигля. Покрытие TaC эффективно защищает графит от этих агрессивных элементов, гарантируя, что тигель останется неповрежденным и функциональным во время процесса. Эта устойчивость к химическому воздействию не только продлевает срок службы тигля, но также способствует общей эффективности и экономичности операции выращивания кристаллов.