Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) – это соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Пиковая температура плавления карбидов тантала составляет около 3880°C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают возможности производительности, используемые в эпитаксиальных процессах соединения полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материале покрытия Semicorex TaC
Проекты |
Параметры |
Плотность |
14,3 (г/см³) |
Коэффициент излучения |
0.3 |
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
Твердость (НК) |
2000 |
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
Термическая стабильность |
<2500℃ |
Изменение размеров графита |
-10~-20ум (справочное значение) |
Толщина покрытия |
Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
|
|
Вышеуказанные значения являются типичными. |
|
Направляющее кольцо Semicorex TaC с покрытием — вершина инноваций в печах для выращивания монокристаллов SiC (карбид кремния). Это направляющее кольцо, тщательно разработанное с учетом строгих требований полупроводниковой промышленности, обещает по-новому взглянуть на процессы выращивания кристаллов с беспрецедентной точностью и надежностью.
Читать далееОтправить запросНовейший графитовый токоприемник Semicorex с покрытием TaC — революционный компонент, разработанный для того, чтобы поднять процесс эпитаксиальной обработки пластин на новую высоту эффективности и точности. Графитовый токоприемник Semicorex с покрытием TaC, созданный с использованием беспрецедентного опыта и самых современных технологий, разработан с учетом строгих требований производства полупроводников.
Читать далееОтправить запросSemicorex предоставляет высококачественные графитовые детали с покрытием из карбида тантала и индивидуальное обслуживание. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросКомпания Semicorex предоставляет графитовые токоприемники с покрытием из карбида тантала с индивидуальным обслуживанием. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросПористый графит Semicorex TaC с покрытием представляет собой современный материал высокой чистоты для обработки полупроводников. Это важнейшее оборудование играет ключевую роль в процессе роста монокристалла SiC. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросКак профессиональный производитель, мы хотели бы предоставить вам кольца с покрытием TaC. Представляем кольцо с тактическим покрытием CVD, современное решение для полупроводникового оборудования. Этот ультрасовременный продукт может похвастаться усовершенствованным покрытием, нанесенным методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), которое обеспечивает исключительную долговечность и устойчивость к износу.
Читать далееОтправить запрос