Датчик с покрытием TaC

Датчик Semicorex TaC Coated Susceptor изготовлен на основе графита и покрыт карбидом тантала (TaC) для повышения его производительности и долговечности.

Карбид тантала обеспечивает исключительную термическую стабильность, что позволяет токоприемнику с покрытием TaC выдерживать чрезвычайно высокие температуры, часто встречающиеся в таких процессах, как химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и физическое осаждение из паровой фазы (PVD). А покрытие TaC обеспечивает превосходную стойкость к химическим реакциям, окислению и коррозии, что имеет решающее значение для сохранения целостности и производительности в суровых химических средах.

Однородные и стабильные тепловые свойства датчиков с покрытием TaC улучшают согласованность и качество процессов, в которых они используются, что приводит к повышению производительности и эффективности производства полупроводников.

Между тем, использование TaC в токоприемнике с покрытием TaC сводит к минимуму риск загрязнения в полупроводниковых процессах, что имеет решающее значение для производства электронных компонентов высокой чистоты и бездефектности.

Применение токоприемника с покрытием TaC:

Производство полупроводников: используется в процессах CVD и PVD для нанесения тонких пленок и эпитаксиальных слоев на полупроводниковые пластины.

Производство светодиодов: используется в производстве светодиодов (СИД), где требуются точные и стабильные температурные условия.

Производство солнечных элементов: используется при производстве фотоэлектрических элементов для повышения эффективности и надежности.

Датчики с покрытием Semicorex TaC имеют решающее значение в передовых производственных процессах, где требуется высокая термическая стабильность, химическая стойкость и долговечность. Их применение обеспечивает повышение производительности, долговечности и качества продукции в высокотехнологичных отраслях.