Графит покрытия TaC создается путем покрытия поверхности графитовой подложки высокой чистоты тонким слоем карбида тантала с помощью запатентованного процесса химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Карбид тантала (TaC) – это соединение, состоящее из тантала и углерода. Он обладает металлической электропроводностью и исключительно высокой температурой плавления, что делает его огнеупорным керамическим материалом, известным своей прочностью, твердостью, теплостойкостью и износостойкостью. Пиковая температура плавления карбидов тантала составляет около 3880°C в зависимости от чистоты и имеет одну из самых высоких температур плавления среди бинарных соединений. Это делает его привлекательной альтернативой, когда требования к более высоким температурам превышают возможности производительности, используемые в эпитаксиальных процессах соединения полупроводников, таких как MOCVD и LPE.
Данные о материале покрытия Semicorex TaC
Проекты |
Параметры |
Плотность |
14,3 (г/см³) |
Коэффициент излучения |
0.3 |
КТР (×10-6/К) |
6.3 |
Твердость (НК) |
2000 |
Сопротивление (Ом-см) |
1×10-5 |
Термическая стабильность |
<2500℃ |
Изменение размеров графита |
-10~-20ум (справочное значение) |
Толщина покрытия |
Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм) |
|
|
Вышеуказанные значения являются типичными. |
|
Кольцо Semicorex с покрытием из карбида тантала является важнейшим компонентом, используемым при обработке полупроводников. Он имеет специальное покрытие, которое выполняет множество функций, повышая эффективность и долговечность графитовых компонентов полупроводникового оборудования. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросДетали Semicorex с графитовым покрытием TaC — это изготовленные с высокой точностью компоненты, специально разработанные для того, чтобы выдерживать жесткие условия обработки полупроводников. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросГрафитовое покрытие Semicorex TaC Coating представляет собой передовое решение в области термического применения для выращивания кристаллов и эпитаксиальных (эпитаксиальных) процессов. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросКольцо Semicorex TaC Coating Ring является ключевым компонентом в сфере выращивания монокристаллов в термическом поле. Созданное с точностью и инновациями, это специализированное направляющее кольцо играет решающую роль в сложном процессе производства монокристаллического материала. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросВафельный токоприемник Semicorex с покрытием TaC является важнейшим компонентом, используемым в печах химического осаждения металлов и органических соединений (MOCVD) для эпитаксиальной (эпи) обработки полупроводников. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запросПластина Semicorex TaC с покрытием из карбида тантала — это передовое решение, разработанное для удовлетворения строгих требований производства полупроводников, особенно на этапе эпитаксиальной (эпи) обработки. Semicorex стремится предоставлять качественную продукцию по конкурентоспособным ценам, и мы надеемся стать вашим долгосрочным партнером в Китае.
Читать далееОтправить запрос