Уплотнительное кольцо с TaC-покрытием

Уплотнительное кольцо Semicorex с TaC-покрытием демонстрирует исключительную инертность к широкому спектру агрессивных газов и химикатов, используемых в полупроводниковых процессах, включая химические вещества плазменного травления (например, фтор, хлор, бром), легирующие примеси (например, бор, фосфор, мышьяк) и агрессивные вещества. чистящие средства. Эта инертность предотвращает разрушение уплотнений и загрязнение чувствительных технологических камер.

Благодаря температуре плавления, превышающей 3800°C, уплотнительное кольцо с покрытием TaC сохраняет свою структурную целостность и механическую прочность при повышенных температурах, возникающих во время обработки пластин. Это обеспечивает надежную герметизацию во время процессов высокотемпературного отжига, осаждения и травления.

Чрезвычайная твердость уплотнительного кольца с покрытием TaC и низкий коэффициент трения обеспечивают исключительную устойчивость к износу, царапинам и истиранию. Это имеет решающее значение в приложениях динамического уплотнения, где повторяющиеся движения или контакт с пластинами и другими компонентами могут привести к образованию частиц и разрушению уплотнения.

Уплотнительное кольцо с покрытием TaC демонстрирует очень низкую скорость газовыделения даже при повышенных температурах, что делает его идеальным для применения в условиях высокого вакуума. Это обеспечивает чистоту процесса и предотвращает осаждение нежелательных загрязнений на чувствительных поверхностях пластин.

Конкретные преимущества в полупроводниковых приложениях:

Увеличенный срок службы уплотнения:Уплотнительное кольцо с покрытием TaC значительно увеличивает срок службы уплотнения, обеспечивая превосходную стойкость к химическому воздействию, термическому разложению и механическому износу. Это снижает частоту замены уплотнений, сводя к минимуму время простоя и затраты на техническое обслуживание.

Улучшенный выход процесса и качество пластин:Инертная природа уплотнительного кольца с покрытием TaC сводит к минимуму образование частиц и загрязнение, что приводит к повышению производительности процесса и улучшению качества пластин. Это имеет решающее значение для производства высокопроизводительных полупроводниковых приборов со строгой устойчивостью к дефектам.

Увеличение времени безотказной работы и производительности оборудования:Увеличенный срок службы уплотнений и снижение требований к техническому обслуживанию способствуют увеличению времени безотказной работы оборудования и общей производительности. Это имеет решающее значение для максимизации производительности и удовлетворения потребностей крупносерийного производства полупроводников.